[发明专利]一种长程面形测量仪

权利要求书

1.一种长程面形测量仪，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括扫描光学头和f-θ角度检测系统，其特征在于，

所述扫描光学头包括面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜，所述面光源水平放置，所述分束镜倾斜地设置在所述面光源下方，所述单孔屏紧贴在所述分束镜底面，所述平面反射镜倾斜地设置在所述单孔屏下方并与所述分束镜构成类五棱镜结构的双反射面。

2.根据权利要求1所述的长程面形测量仪，其特征在于，所述扫描光学头还包括壳体，所述面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜均设置在所述壳体中。

3.根据权利要求1所述的长程面形测量仪，其特征在于，所述f-θ角度检测系统包括一傅里叶变换透镜和一面阵探测器，所述傅里叶变换透镜设置为将自所述平面反射镜反射的光束汇聚后传输至所述面阵探测器，并在所述面阵探测器上形成测量光斑。

4.根据权利要求1所述的长程面形测量仪，其特征在于，所述面光源为非相干面光源。

5.根据权利要求1所述的长程面形测量仪，其特征在于，该测量仪还包括光学平台和线性平移台，所述线性平移台位于所述光学平台上，所述扫描光学头安装在所述线性平移台上。