[发明专利]反应性溅射装置有效
| 申请号： | 201610100959.1 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105908138B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 尹炳汉;吴芝瑛;黄在君 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应 溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚威科股份有限公司，未经亚威科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610100959.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
