[发明专利]公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构

权利要求书

1.一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，包括公转盘，自转盘，大自转轴和小自转轴；

所述大自转轴围绕所述公转盘的旋转中心转动安装在所述公转盘上，所述自转盘平行于所述公转盘固定在所述大自转轴上部，所述小自转轴围绕所述自转盘的旋转中心转动安装在所述自转盘上；

其特征在于，所述工件转架运动机构还包括齿轮盘，所述公转盘与所述齿轮盘同轴设置，所述公转盘转动安装在所述齿轮盘上；

所述大自转轴的下端穿出所述公转盘固定有大扭力传递齿轮，所述齿轮盘与所述大扭力传递齿轮啮合，以便在所述齿轮盘转动时，驱动所述大自转轴带动所述自转盘自转；

所述公转盘的顶面围绕其旋转中心凸出固定有若干个固定小齿轮，所述大自转轴下端从所述固定小齿轮中部穿过，所述小自转轴下端穿出所述自转盘固定有小扭力传递齿轮，安装在同一自转盘上的小自转轴上的所有所述小扭力传递齿轮啮合于同一所述固定小齿轮；

所述工件转架运动机构还包括第一齿轮驱动机构和第二齿轮驱动机构，所述第一齿轮驱动机构与所述齿轮盘相连，用于驱动所述齿轮盘旋转，所述第二齿轮驱动机构与所述公转盘相连，用于驱动所述公转盘旋转。

2.根据权利要求1所述的公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，其特征在于，所述工件转架运动机构还包括与所述公转盘同轴设置的固定盘，所述公转盘水平设置，所述齿轮盘转动安装在所述固定盘上，所述固定盘、齿轮盘、公转盘均为一圆环形状的结构体，所述齿轮盘上抵着所述公转盘的内环面安装有若干个公转盘限位轴承，所述固定盘上抵着所述齿轮盘的内环面安装有若干个齿轮盘限位轴承；

所述齿轮盘的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽，所述滚珠槽内安装有滚珠，所述公转盘承托在滚珠上从而转动安装在所述齿轮盘上；

所述固定盘的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽，所述滚珠槽内安装有滚珠，所述齿轮盘承托在滚珠上从而转动安装在所述固定盘上。

3.根据权利要求2所述的公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，其特征在于，所述齿轮盘外环面上设有齿牙，所述大扭力传递齿轮啮合于所述齿轮盘的外环面，所述齿轮盘的内环面分为上下两层，上层设有齿牙，所述第一齿轮驱动机构的齿轮啮合于所述齿轮盘内环面的上层，所述齿轮盘限位轴承抵于所述齿轮盘内环面的下层，所述公转盘的外环面设有齿牙，所述第二齿轮驱动机构的齿轮啮合于所述公转盘的外环面。

4.根据权利要求3所述的公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，其特征在于，所述固定盘底面还固定有转架绝缘组件，以便将固定盘绝缘安装在真空镀膜机镀膜室的底盘上。