[发明专利]一种修饰氧化铟锡阳极的制备方法有效
| 申请号： | 201610096162.9 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105576142B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 潘勇;陈娟 | 申请（专利权）人： | 张哲夫 |
| 主分类号： | H01L51/50 | 分类号： | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙)44324 | 代理人： | 邓扬 |
| 地址： | 325055 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 修饰 氧化 阳极 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种修饰氧化铟锡阳极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供洁净的氧化铟锡阳极，所述氧化铟锡阳极包括玻璃基板和设置在所述玻璃基板表面的氧化铟锡薄膜；
将所述氧化铟锡阳极进行臭氧化处理后浸入浓度为0.01～2mol/L的乙二胺溶液中，浸入2～10分钟后，取出，干燥；
随后，将所述氧化铟锡阳极浸入浓度为2～10mmol/L的全氟脂肪酸溶液中，浸泡5～20分钟后，取出，氮气吹干，即得修饰氧化铟锡阳极，所述修饰氧化铟锡阳极的氧化铟锡薄膜表面具有修饰层，所述修饰层的物质为乙二胺与全氟脂肪酸反应形成的如式(1)所示的化合物，
式中，n＝4、6、8或10；
所述全氟脂肪酸的通式为CF3(CF2)n-COOH，其中，n＝4、6、8或10。
2.如权利要求1所述的修饰氧化铟锡阳极的制备方法，其特征在于，所述乙二胺溶液的溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇或正丁醇。
3.如权利要求1所述的修饰氧化铟锡阳极的制备方法，其特征在于，所述全氟脂肪酸溶液的溶剂为十一烷、十二烷、十四烷或十六烷。
4.如权利要求1所述的修饰氧化铟锡阳极的制备方法，其特征在于，所述干燥的具体操作为：在50～80℃下真空干燥12～24小时。
5.如权利要求1所述的修饰氧化铟锡阳极的制备方法，其特征在于，所述氧化铟锡薄膜的厚度为70～200nm。
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