[发明专利]曝光机及曝光灯的更换方法有效
申请号: | 201610087845.8 | 申请日: | 2016-02-16 |
公开(公告)号: | CN105487352B | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 龚冰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 更换 方法 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种曝光机及曝光灯的更换方法。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display,LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用,如:移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置,其包括壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(Backlight module)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(Color Filter Substrate)、一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate,TFT Array Substrate)以及一配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成,其中在阵列基板上排布有许多竖直的数据线(Data Line)和水平的栅极扫描线(Gate Line)。液晶显示面板的工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转,将背光模组的光线折射出来产生画面。
在液晶显示面板的制造过程中,会多次利用曝光工艺。具体为,在涂有光刻胶的基板上方放置光罩,然后利用曝光机对基板进行曝光。请参阅图1,为一种现有的曝光机的结构示意图,包括外壳100、设于所述外壳100中的集光镜200、及设于所述集光镜200中的曝光灯300。曝光工艺的主要原理就是通过曝光灯300的照射,将光罩(Mask)上的图形转印到玻璃基板上。因此,曝光机的灯源非常重要,通常使用的曝光灯为高压水银灯,曝光灯有一定的使用寿命,当达到规定使用时间或照度降低时,需要更换曝光灯。更换曝光灯的基本步骤为:关灯—等待降温—换灯—开灯—等待升温—测量照度—参数设定。整个过程大概需要3h时间。其中等待降温和等待升温的时间,就分别需要约40min,因而使得换灯时间过长,影响设备稼动率。
另外,曝光机的集光镜为整个光学系统中非常重要的一个部分,曝光灯即放置在集光镜中,因为换灯的原因,集光镜上容易沾有异物或灰尘,会影响曝光灯的集光效果和均一性,会对产品造成影响。但是集光镜的清洁非常困难,直接接触式的清洁(如无尘布擦拭等)容易因掌握不好力度而划伤或损坏集光镜表面,造成集光镜报废,损失巨大。
因此,有必要提供一种曝光机及曝光灯的更换方法,以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种曝光机,在需要更换曝光灯时可使曝光灯实现快速降温,并可避免更换曝光灯的过程中造成集光镜上粘附异物或灰尘。
本发明的目的还在于提供一种曝光灯的更换方法,可使曝光灯实现快速降温,并可避免更换曝光灯的过程中造成集光镜上粘附异物或灰尘。
为实现上述目的,本发明提供一种曝光机,包括外壳、设于所述外壳中的上端开口的集光镜、设于所述集光镜中的曝光灯、及设于所述外壳顶部的外围且末端的出气孔朝下的数个喷气装置;所述数个喷气装置可在所述集光镜的上方进行伸缩;
当曝光机正常工作时,所述数个喷气装置缩回至所述外壳顶部的外围而不影响正常曝光时光源的走向;
当需要更换曝光灯时,关闭曝光灯后,通过将所述数个喷气装置伸出至其末端的出气孔位于所述集光镜边缘区域的上方,对所述集光镜的内部及曝光灯进行喷气,从而使所述曝光灯实现快速降温。
所述数个喷气装置喷出压缩空气。
所述数个喷气装置通过气缸进行驱动实现伸缩。
所述数个喷气装置的喷气量可调节。
所述集光镜的底部设有排尘孔;当所述喷气装置向所述集光镜内部喷气时,所述集光镜上粘附的异物或灰尘被吹起后通过所述排尘孔排出至所述集光镜外部。
所述集光镜的上端开口呈圆形;所述集光镜的内部呈曲面状。
所述喷气装置的数量为8个,并围绕所述集光镜均匀分布。
所述曝光灯为水银灯。
本发明还提供一种曝光灯的更换方法,包括如下步骤:
步骤1、提供曝光机,所述曝光机包括外壳、设于所述外壳中的上端开口的集光镜、设于所述集光镜中的曝光灯、及设于所述外壳顶部的外围且末端的出气孔朝下的数个喷气装置;所述数个喷气装置可在所述集光镜的上方进行伸缩;关闭所述曝光灯;
步骤2、将所述数个喷气装置伸出至其末端的出气孔位于所述集光镜边缘区域的上方,对所述集光镜的内部及曝光灯进行喷气,从而使所述曝光灯实现快速降温;
步骤3、提供新曝光灯,对降温后的曝光灯进行更换。
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