[发明专利]基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器有效
| 申请号： | 201610086299.6 | 申请日： | 2016-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105716729B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 欧阳征标;陈治良 | 申请（专利权）人： | 深圳市诺安环境安全股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K5/02 | 分类号： | G01K5/02 |
| 代理公司： | 深圳力拓知识产权代理有限公司 44313 | 代理人： | 龚健 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 内置 光谱 高分辨率 温度传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于内置液囊和光谱谷点的超高分辨率温度传感器，其特征在于：由一个内置液囊、一个金属块、一个竖直波导、一个水平波导、两个金属膜和一个信号光组成；所述水平波导和所述竖直波导为金属-绝缘体-金属的波导结构；所述内置液囊和所述竖直波导连接；所述内置液囊的截面为圆形腔或者六边形腔，其截面积为502655nm2；所述竖直波导内设置金属块；所述竖直波导和所述水平波导连接；所述信号光沿所述水平波导方向传播，采用宽带光或扫频光；所述信号光的波长为700nm～1000nm的频谱信号，通过温度增加所述内置液囊内物质的体积，推动所述金属块向所述水平波导移动，以调整所述信号光的透射频谱谷点的波长移动，获得探测灵敏度为-274nm/℃的温度传感器。
2.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点的超高分辨率温度传感器，其特征在于：所述内置液囊内的物质为高热膨胀系数的物质。
3.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点的超高分辨率温度传感器，其特征在于：所述内置液囊内的物质为酒精或者水银。
4.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点的超高分辨率温度传感器，其特征在于：所述金属为金或银。
5.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点的超高分辨率温度传感器，其特征在于：所述水平波导内的介质为空气。
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