[发明专利]基于MIM高灵敏度SPP太赫兹探测器有效

申请号：	201610085878.9	申请日：	2016-02-15
公开（公告）号：	CN105737975B	公开（公告）日：	2021-04-30
发明（设计）人：	欧阳征标;陈治良	申请（专利权）人：	欧阳征标
主分类号：	G02B6/122	分类号：	G02B6/122;G01J1/02;G01J1/42
代理公司：	深圳力拓知识产权代理有限公司 44313	代理人：	龚健
地址：	518006 广东***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	基于 mim 灵敏度 spp 赫兹探测器
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【权利要求书】：

1.一种基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：由一个矩形腔、一个太赫兹波吸收腔、一个银块、一个竖直波导、一个水平波导、三个金属膜、一个太赫兹探测波、一个水平参考光和一个光电探测器组成；所述矩形腔设置于所述太赫兹探测波的输入端；所述太赫兹波的入射端设置于所述矩形腔的上端；所述水平波导和所述竖直波导为金属-绝缘体-金属波导结构；所述太赫兹波吸收腔和所述竖直波导连接；所述竖直波导和所述水平波导连接；所述竖直波导内设置所述银块，且可以移动；所述光电探测器设置于所述水平波导的输出端；所述太赫兹探测波入射到所述太赫兹波吸收腔内的时间为1ms，所述太赫兹探测波的探测强度为 0.6nw ～ 6nw。

2.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP太赫兹波探测器，其特征在于：所述太赫兹波吸收腔的形状为多边形、圆形或者椭圆形。

3. 按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述太赫兹波吸收腔的形状为矩形。

4.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述太赫兹波吸收腔内的物质为高膨胀系数的物质。

5.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述太赫兹波吸收腔内的物质为酒精。

6.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述矩形腔内的物质为高透射率的物质。

7.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述矩形腔内的物质为硅、锗或者砷化镓。

8.按照权利要求 1 所述的基于MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述金属为金或者银。

9.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述绝缘体为透明物质。

10.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述绝缘体为空气、二氧化硅或者硅。

11.按照权利要求 1 所述的基于 MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述光电探测器的材料为硅。

12.按照权利要求 1 所述的基于MIM 高灵敏度 SPP 太赫兹波探测器，其特征在于：所述参考光的工作波长为 780nm，所述太赫兹探测波的波长为 3μm，其强度为 1.2nW～4.2nW。

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