[发明专利]可显色使用寿命终点的吸附垫及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种吸附垫及其制造方法，特别是涉及一种可显色使用寿命终点的吸附垫及其制造方法。

背景技术

参考图1，其显示美国公告专利第US5,871,393号所揭示的具有现有吸附垫的研磨设备的示意图。该研磨设备10包括一下平台(Lower Base Plate)11、一吸附垫(Sheet)12、一基材(Workpiece)13、一上平台(Upper Base Plate)14、一抛光垫(Polishing Pad)15及一研磨浆液(Slurry)16。该下平台11是相对于该上平台14。该吸附垫12设置于该下平台11上，且该吸附垫12用以承载及固定该基材13。该抛光垫15固定于该上平台14，且面向该下平台11，用以对该基材13进行抛光。

该研磨设备10的作动方式如下。首先将该基材13置于该吸附垫12上，且该基材13被该吸附垫12吸住。接着，该上平台14及该下平台11以相反方向旋转，且同时将该上平台14向下移动，使该抛光垫15接触到该基材13的表面，通过不断补充该研磨浆液16以及该抛光垫15的作用，可对该基材13进行抛光作业。

但上述的该吸附垫12经长时间使用后，皆会面临渗水至垫内而造成虹吸现象被破坏的情形，以致该基材13与该吸附垫12间的吸附力变差，进而使得该基材13无法抛平甚至破片。当上述的渗水情形发生时，即表示该吸附垫12已达使用寿命终点而必须更换。

然而，由于无法准确得知渗水情形发生的第一时间，故也无法在渗水情形发生的第一时间立即更换该吸附垫12，以致大量的基材13因抛光不良或破片而需废弃。因此，若能准确判断出渗水情形发生的第一时间(即吸附垫12的使用寿命终点)，并立即更换该吸附垫12，将可避免基材13的耗损。

基于上述理由，有必要提供一创新且具进步性的可显色使用寿命终点的 吸附垫及其制造方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种可显色使用寿命终点的吸附垫，包括一吸附层、一染料胶囊层及一载体层。该吸附层具有一表面。该染料胶囊层设置于该吸附层的表面。该载体层贴合于该染料胶囊层上。

本发明另提供一种可显色使用寿命终点的吸附垫的制造方法，包括以下步骤：提供一吸附层，该吸附层具有一表面；形成一染料胶囊层于该吸附层的表面；及贴合一载体层于该染料胶囊层上。

本发明的染料胶囊层可在吸附垫渗水后溶解出染料，透过染料的显色效果，可轻易判断出吸附垫的使用寿命终点。

为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明所述目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为美国公告专利第US5,871,393号所揭示的具有现有吸附垫的研磨设备的示意图；

图2为本发明可显色使用寿命终点的吸附垫的结构示意图；

图3为本发明染料微胶囊的结构示意图；

图4为本发明另一实施例吸附垫的结构示意图；

图5为本发明可显色使用寿命终点的吸附垫的渗水显色示意图；

图6为本发明可显色使用寿命终点的吸附垫的制造方法流程图；

图7A为本发明的制造方法中的一吸附层的示意图；

图7B为本发明的制造方法形成一染料胶囊层于吸附层的表面的示意图；及

图7C为本发明的制造方法贴合一载体层于染料胶囊层上的示意图。

符号说明

10 研磨设备

11 下平台

12 吸附垫

13 基材

14 上平台

15 抛光垫

16 研磨浆液

20 可显色使用寿命终点的吸附垫

21 吸附层

21S 表面

22 染料胶囊层

221 染料微胶囊

221C 水溶性胶囊体

221D 染料

23 载体层

24 粘着层

S61～S63 步骤

具体实施方式

参阅图2，其显示本发明可显色使用寿命终点的吸附垫的结构示意图。本发明的可显色使用寿命终点的吸附垫20包括一吸附层21、一染料胶囊层22及一载体层23。

在本实施例中，该吸附层21为聚氨酯(PU)膜，且该吸附层21具有一表面21S。