[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：

衬底；

可动部件，所述可动部件位于所述衬底上；

固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；

互连部件，包括与所述固定部件相同层面的第一部分和从所述第一部分延伸至所述可动部件的第二部分；以及

第一焊盘和第二焊盘，分别位于所述互连部件和所述固定部件上。

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS结构为MEMS麦克风，所述可动部件和固定部件分别为所述MEMS麦克风的振膜层和背极板，所述振膜层与外部连通以接收声音信号，

其中，根据所述振膜层的振动特性设置所述互连部件的第二部分与所述振膜层的连接位置。

3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，还包括：

位于所述可动部件和所述固定部件之间的支撑层，

其中，所述互连部件的第一部分至少部分地在所述支撑层上横向延伸，使得所述振膜层悬挂在所述互连部件的第二部分下方。

4.根据权利要求3所述的MEM结构，其特征在于，所述可动部件的周边部分夹在所述衬底和所述支撑层之间。

5.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件的第二部分包括至少两个侧壁，并且在相邻的侧壁之间夹有所述支撑层的材料，形成夹层结构。

6.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述背极板的周边具有与所述互连部件相对应的开口，所述互连部件在所述开口内接触所述支撑层。

7.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述支撑层具有环状的内侧部分和外侧部分，所述互连部件在所述支撑层的外侧部分接触所述支撑层，所述背极板在所述支撑层的内侧部分接触所述支撑层。

8.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件的第一部分的所述至少一部分包括弹性结构。

9.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件的第一部分悬空，并且所述互连部件的第二部分与所述可动部件直接相连。

10.一种制造MEMS结构的方法，包括：

在衬底上形成振膜层；

在振膜层上形成支撑层；

在支撑层中形成第一开口；

在支撑层上形成第一导体层，第一导体层填充所述第一开口；

将第一导体层图案化为互连部件和背极板；以及

在所述互连部件和所述背极板上分别形成第一焊盘和第二焊盘，

其中，所述互连部件和所述背极板彼此隔开，并且所述互连部件包括在所述支撑层上横向延伸的第一部分和从所述支撑层表面经由所述第一开口延伸至所述振膜层的第二部分。