[发明专利]一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统

权利要求书

1.一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，其特征在于：包括高平整度台面、运动块、多块光栅、多组光栅测量探头、协调控制电路、多个光栅道标；其中，光栅和光栅道标均固定于台面之上，光栅测量探头和协调控制电路固定于运动块上，运动块在协调控制电路的驱动下相对于台面移动；

所述的多块光栅沿运动路径分为多道铺设于高平整度台面；铺设方法是：不同规格的光栅邻道铺设，同规格的光栅至少出现两道，并且当其中一道的光栅因光栅块不够长而出现断口时，其他道的光栅有足够的连续长度在运动块的运动方向覆盖该断口位置；

所述的光栅道标布置在光栅道的断口中央、相邻栅道的交界线以及台面边沿，且每一个道标标记唯一且其相对坐标位置关系由干涉仪提前标定用以建立整个台面的坐标网。

2.根据权利要求1所述的一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，其特征在于：所述测量探头包括多个光电感应探头和集成屏，集成屏内包括有支撑框架、多个折射晶体，多个光电感应探头和多个折射晶体均相对固定在支撑框架上。

3.根据权利要求2所述的一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，其特征在于：每道光栅对应运动块的位置至少有两个测量探头，即运动块在运动过程中有多个测量探头对任意一道的光栅进行位置探测，且同道测量探头布置的前后间距不超过单一光栅块在运动方向的长度。

4.根据权利要求2所述的一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，其特征在于：所述台面上布置的光栅可以选择不同的类型，根据光栅的类型不同，测量探头布置也相应的不同；

当采用反射型光栅时，激光光源与测量探头布置在光栅面的同侧，便于与运动块集成在一起；当采用透射型光栅时，激光光源与测量探头分布在光栅面的两侧，运动块或者与测量探头集成或者与激光光源一起集成，没有与运动块集成在一起的则阵列化布置于台面。

5.根据权利要求2所述的一种适合于大幅面运动规划的高精、高速运动测量系统，其特征在于：所述协调控制电路与所述测量探头一起进行协调控制，以实现单一探头细分次数少但整体测量精度更高的效果；所述协调控制电路的控制方法包括同级栅道多个测量探头测量结果的统计分析，相同精度级的多个测量结果中剔除偏差较大的数据，取平均值作为输出，且测量精度要求越高，相应的光栅道和测量探头数则越多布置。