[发明专利]石墨烯自感式压力传感触摸屏及其制作方法

权利要求书

1.一种石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：包括基底，所述基底上设有石墨烯 导电薄膜，所述石墨烯导电薄膜的两侧设有位于所述基底上的金属材料，且所述石墨烯导 电薄膜上通过光学胶与其贴合设有盖板。

2.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述基底采用 PET、PMMA或PDMS制成。

3.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述石墨烯导电 薄膜包括一层石墨烯导电层、两层石墨烯导电层、少数层石墨烯导电层或三维石墨烯材料 薄膜。

4.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述金属材料为 银、银浆、铜、镍、金、铝、钛合金或镍合金。

5.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述石墨烯导电 薄膜蚀刻为设定的图形。

6.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述金属材料蚀 刻为设定的电路。

7.根据权利要求1所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏，其特征在于：所述光学胶采用 OCA光学胶。

8.一种用于制作如权利要求1-7任一项所述的石墨烯自感式压力传感触摸屏的制作方 法，其特征在于：包括如下步骤：

1）采用化学气相淀积的方式在金属上生长石墨烯导电薄膜，将石墨烯导电薄膜转移到 所述基底上，并在石墨烯导电薄膜的两侧堆积所述金属材料；

2）采用蚀刻方法将石墨烯导电薄膜蚀刻为设定的图形，以实现石墨烯导电薄膜的图形 化；

3）采用蚀刻方法将金属材料蚀刻为设定电路，并在所述电路中设计自感式电容屏信号 检测电路和检测每根石墨烯线路电阻信号的检测电路；

4）在图形化的所述石墨烯导电薄膜上贴合光学胶，以实现石墨烯压力传感器设计；

5）将所述石墨烯压力传感器与外围IC电路进行绑定，并贴合所述盖板。