[发明专利]用于真空环境下的视觉识别定位系统

权利要求书

1.一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，包括用于识别定位待处理器件的视觉识别定位装置，其特征在于：所述视觉识别定位装置放置于真空环境下的密闭腔体中，所述密闭腔体内具有视觉识别定位装置正常工作所需的环境，所述密闭腔体朝向待处理器件的定位面上具有能够满足视觉识别定位装置识别定位待处理器件的透光部分；所述密闭腔体还配置有冷却装置。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述视觉识别定位装置是视觉识别定位摄像机和用于照明待处理器件的照明光源，所述视觉识别定位摄像机可识别照明光源发出的光线并在照明光源实现的照明环境下识别定位待处理器件。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述视觉识别定位摄像机和照明光源放置在真空环境下的同一个密闭腔体内；或者，所述视觉识别定位摄像机和照明光源放置在真空环境下的不同密闭腔体内。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述视觉识别定位装置是视觉识别定位摄像机，在所述真空环境外设置用于照明待处理器件的照明光源，所述视觉识别定位摄像机可识别照明光源发出的光线并在照明光源实现的照明环境下识别定位待处理器件。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述冷却装置是冷却托盘，与密闭腔体壁热传导式接触，冷却托盘内部具有冷却管路，冷却托盘通过向冷却管路中通入冷却介质来冷却密闭腔体。

6.根据权利要求5所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述冷却介质是冷却水/冷却油/液氮。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述冷却装置是半导体制冷器，半导体制冷器的制冷侧与密闭腔体壁热传导式接触，半导体制冷器通过向其中通入直流电来冷却密闭腔体。

8.根据权利要求2至4中任意一项所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述照明光源是可见光、紫外光或红外光光源；所述视觉识别定位摄像机是可识别可见光、紫外光或红外光的视觉识别定位摄像机。

9.根据权利要求1至7中任意一项所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述密闭腔体内是大气环境或惰性气体环境。

10.根据权利要求1至7中任意一项所述的一种用于真空环境下的视觉识别定位系统，其特征在于：所述密闭腔体是圆柱体、长方体或圆台状。