[发明专利]一种镀膜玻璃及其制备工艺

说明书

【技术领域】

本发明涉及无机材料领域，尤其涉及一种镀膜玻璃 及其制备工艺。

【背景技术】

随着电子产品的发展，人们对产品的质量要求也越来 越高。其中，为了保证玻璃基板各方面性能更优越，会在 玻璃表面镀制一层或者多层薄膜能够赋予玻璃更多的特 殊属性，如增透、滤光、防污、力学性能等等，使玻璃得 到了更为广泛的应用。目前普遍使用的镀膜玻璃是在玻璃 基底上镀制功能层，配合镀制一层Al₂O₃膜(由于功能层 韧性较差，与韧性好的Al₂O₃膜相互交叠使用或者混合一 起固溶的新型膜层，改善玻璃韧性)。可是单成分的Al₂O₃膜其脆性较大、抗冲击强度弱，不能满足人们日益增长的 物质需求。

【发明内容】

为克服现有单成分Al₂O₃膜性能局限性，提高玻璃的 力学性能、抗冲击强度，本发明提供一种镀膜玻璃及其制 备工艺。

本发明解决技术问题的技术方案是提供一种镀膜玻璃及其制备 工艺。所述玻璃镀膜制备工艺包括步骤a：预处理玻璃基底； 步骤b：预反应配置一混合膜料；步骤c：离子清洗该玻璃 基底；步骤d：将混合膜料镀制于该玻璃基底上，所述混 合膜料为Al₂O₃和ZrO₂的混合。

优选地，所述混合膜料中Al₂O₃的质量比为25％、30％、 35％、40％、45％中的任意一种。

优选地，所述步骤b进一步包括配置Al₂O₃和ZrO₂的混 合膜料，并放置于电子束真空镀膜机的石墨坩埚中。

优选地，所述步骤c中进一步包括在离子源中通入 Ar∶O₂为1∶10的混合气体，然后往玻璃基底所在空间中充 入氧气，保持压强在3.0×10^-4Torr左右，然后开启离子源 对玻璃基底进行2分钟清洗。

优选地，所述步骤d中进一步包括根据玻璃需要镀制 膜的要求，设定好电子束真空镀膜机镀膜程序，并设置镀 膜厚度，烘烤玻璃，开启电子枪，利用高能电子束轰击 Al₂O₃和ZrO₂混合膜料，使混合膜料受热达到熔点，从固 态变为蒸气，在真空环境中均匀在玻璃基底上沉积，生长 成混合膜，镀膜完成后冷却一段时间，取出镀膜玻璃产品。

优选地，所述步骤a中玻璃基底上设置一功能层，该 功能层为多层膜相互交叠或混合在一起形成的单层固溶 膜层。

优选地，镀膜玻璃包括一玻璃基底，其上设置一功能 层，并于功能层上镀制一混合膜，其特征在于：所述混合 膜由Al₂O₃和ZrO₂混合而成。

优选地，所述混合膜层中Al₂O₃质量比为25％、30％、 35％、40％、45％之任意一种，膜层厚度为10～30nm。

优选地，所述混合膜中Al₂O₃质量比为40％，混合膜 厚厦为25nm。

与现有技术相比，本发明一种镀膜玻璃中混合膜层添 加ZrO₂，配合ZrO₂形成一种固溶的新型膜层，弥补了单成 分Al₂O₃膜层一些性能上的局限性，且韧性好，抗冲击强 度高。

【附图说明】

图1是本发明第一实施方式玻璃表面混合膜制备工艺 流程。

图2是图1所示制备工艺生产的具有混合膜层的玻璃 的截面示意图。

图3是图2所示玻璃落球冲击测试结果图。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明 白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细 说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释 本发明，并不用于限定本发明。