[发明专利]基板检测设备及其工作方法有效
申请号: | 201610076266.3 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105527735B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 孙超超;刘华锋;赵生伟;张凯;吕景萍;叶路路;杨磊;王超;杨盟;胡重粮;丁多龙;顺布乐;李瑶;孙士民;谢霖 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01N27/82 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 黄灿;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 设备 及其 工作 方法 | ||
本发明提供了一种基板检测设备及其工作方法,属于显示技术领域。基板检测设备,用于对传送的基板进行检测,所述基板检测设备包括多个检测单元和与所述多个检测单元分别连接的基板信息收集器,每一检测单元包括:用于与传送的基板形成面接触的接触部;检测所述接触部与所述传送的基板的接触状态的处理部;在至少一个所述接触部与所述传送的基板形成面接触后,所述基板信息收集器接收所述处理部的检测结果,并根据所述处理部的检测结果判断所述基板是否损坏。本发明的技术方案能够检测出基板是否破碎,实现成本低。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是指一种基板检测设备及其工作方法。
背景技术
液晶显示器件(TFT-LCD)是一种依靠液态液晶分子的排列状态在电场中发生改变,进而调制背光源透过光线的显示器件。
在液晶显示器件生产过程中,基板要经过高温、低温、吸附、搬运等诸多过程,有些基板难免会出现小范围的破碎,如果不及时发现并处理,则破碎的基板很可能会再次发生破碎,严重时导致设备当机,掉落在设备中的基板碎片也会对后续的工艺产生影响。
现有技术中有多种检测基板状态的方式,比如,其中一种方式是利用摄像镜头抓取基板的形貌,通过图像对比判读基板是否出现弯折或者破碎,但是该种方式的实现成本较高,并且对摄像镜头的安装位置有严格的限制;另一种方式是利用光学传感器来检测基板,但是光学传感器不能安装在有化学药液的区域,这样该种方式不能全面检测整块基板的所有区域,如果基板只是出现小范围破碎,并且破碎的地方不在光学传感器的感应范围内,则基板的破碎就不能被光学传感器感知到。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种基板检测设备及其工作方法,能够检测出基板是否破碎,实现成本低。
为解决上述技术问题,本发明的实施例提供技术方案如下:
一方面,提供一种基板检测设备,用于对传送的基板进行检测,所述基板检测设备包括多个检测单元和与所述多个检测单元分别连接的基板信息收集器,每一检测单元包括:
用于与传送的基板形成面接触的接触部;
检测所述接触部与所述传送的基板的接触状态的处理部;
在至少一个所述接触部与所述传送的基板形成面接触后,所述基板信息收集器接收所述处理部的检测结果,并根据所述处理部的检测结果判断所述基板是否损坏。
进一步地,所述接触部包括:
用于与传送的基板形成面接触的第一部分;
与所述第一部分固定连接的第二部分;
在所述第一部分与所述传送的基板形成面接触时,能够带动所述第二部分从第一状态切换至第二状态;
所述处理部的检测结果为所述第二部分所处的状态。
进一步地,所述基板信息收集器具体用于在所述检测结果为所述第二部分处于第一状态时,判断所述基板与所述第一部分接触的位置损坏;在所述检测结果为所述第二部分处于第二状态时,判断所述基板与所述第一部分接触的位置未损坏。
进一步地,所述第二部分包括磁性部件,所述处理部包括霍耳效应磁强计半导体矩形薄片和与所述霍耳效应磁强计半导体矩形薄片连接的信号转换器;
所述磁性部件位于所述霍耳效应磁强计半导体矩形薄片正上方;
在所述磁性部件处于第一状态时,所述信号转换器输出第一电信号;
在所述磁性部件处于第二状态时,所述信号转换器输出第二电信号;
所述基板信息收集器具体用于在至少一个所述第一部分与所述传送的基板形成面接触后,接收所述信号转换器输出的电信号,并根据接收到的电信号判断所述基板是否损坏。
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