[发明专利]准分子放电灯

说明书

技术领域

本发明涉及例如在光清洁处理或杀菌处理等中使用的准分子放电灯。

背景技术

近年来，作为例如光清洁处理装置或杀菌处理装置等各种装置的光源而使用准分子放电灯。

作为准分子放电灯，例如广泛地使用在由具有透光性的电介质材料构成的发光管的外表面配设电极(外侧电极)、在发光管的内部配置内侧电极而成的结构(例如参照专利文献1)。

图6是概略地表示以往的准分子放电灯的一例的结构的立体图。图7是将图6所示的准分子放电灯的主要部的结构放大表示的长度方向剖视图。

该准分子放电灯具备在内部封入有发光气体的发光管60。在发光管60的一个端部形成有密封部63。密封部63例如是埋设金属箔68并气密密封的所谓箔密封构造(例如夹封(pinch seal)构造)，经由弯曲的缩径部62而与圆管状的发光部61的另一端连续。此外，在发光管的另一个端部，设有末端(tip)部65，该末端部65是用来在灯的制造过程中将发光管60内排气的排气路径的残留部。

在发光管60的外表面，以与发光管60的外表面密接的状态配设有外侧电极80。外侧电极80例如由通过具有导电性的多根金属细线形成的网状电极构成。

此外，在发光管60的内部，以沿着发光管的长度方向延伸的状态配置有内侧电极70。内侧电极70由其主要部分卷绕为螺旋状而形成的线圈电极构成，另一端部位于末端部65内，一端部与埋设在密封部63中的金属箔68电连接。金属箔68与比发光管60的另一端更向外方突出而延伸的外部引线75电连接。

在这样的结构的准分子放电灯中，外侧电极80被固定成不会随便移动。对外侧电极80的固定方法具体地说明如下，在发光管60的外表面上的缩径部62与密封部63间的边界部分附近，卷绕例如软Ni线等金属线85，由此将外侧电极80的一端部相对于发光管60固定。

专利文献1：特开2014－154274号公报

但是，在上述结构的准分子放电灯中，密封部63通过将构成发光管60的例如由石英玻璃形成的发光管形成材料的端部加热并用钳子(Pincher)压扁而形成。此时，发光管形成材料在被加热后急冷，所以在密封部残留因温度带来的应变(热应变)。

此外，在产生真空紫外光的准分子放电灯中，在点灯中对发光管60的内面照射波长较短的真空紫外光，结果除了上述应变以外还积蓄紫外线应变。

特别是，在发光管60的缩径部62，由于构成发光管60的玻璃的变形较大，所以热应变容易残留，并且在缩径部62所处的区域中也在内侧电极70与外侧电极80之间发生放电，发生因被照射真空紫外光引起的紫外线应变，所以应变的残留或积蓄较显著。

在这样的容易残留或积蓄应变的区域中，如果如以往那样用卷绕Ni线等金属线85的方法将外侧电极80固定，则在该区域中容易发生应力集中，有发光管60有可能在规定的寿命前损坏的问题。

发明内容

本发明是基于以上那样的情况而做出的，目的是提供一种能够缓和由外侧电极的固定方法引起的应力集中、能够可靠地得到期望的灯寿命的准分子放电灯。

本发明的准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部经由在上述密封部的外表面设置的外侧电极固定用部件而被固定。

此外，本发明的准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部在位于上述密封部的外表面的状态下，被使该外侧电极的一端部与该密封部的外表面接触的保持部件保持固定。

在本发明的准分子放电灯中，上述外侧电极固定用部件可以由安装于上述密封部的基础部件构成。

在本发明的准分子放电灯中，构成为外侧电极延伸到与容易积蓄在灯的制造过程中发生的热应变及因放电带来的紫外线应变的缩径部相比靠发光管的管轴方向外方侧的位置，外侧电极的一端部在密封部上的位置处被固定。因而，根据本发明的准分子放电灯，能够减小作用于缩径部的机械应力，能够避免在缩径部引起应力集中。此外，能够成为外侧电极位于从缩径部的外表面离开的位置的状态，所以能够抑制缩径部的真空紫外光的发生而缓和紫外线应变积蓄到缩径部的情况。结果，能够可靠地防止灯寿命末期的灯损坏，能够可靠地得到期望的灯寿命。

附图说明

图1A是表示本发明的准分子放电灯的一例的结构的概略的俯视图。