[发明专利]一种发光二极管LED及其制作方法有效
申请号: | 201610073410.8 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105720155B | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 田艳红;于娜;齐胜利;王江波 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 led 及其 制作方法 | ||
1.一种发光二极管,所述发光二极管包括衬底、以及依次层叠在所述衬底上的N型层、发光层、P型层,所述P型层上开设有从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽,所述P型层上依次层叠有第一电流阻挡层、第一透明导电层、以及延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,P型焊盘设置在所述第一通孔内,P型电极线设置在所述第二通孔内,其特征在于,所述N型层上层叠有第二电流阻挡层、第二透明导电层、以及N型焊盘和N型电极线,所述第二电流阻挡层和所述第二透明导电层内沿所述N型电极线的延伸方向设有若干延伸到所述N型层的第三通孔,所述N型焊盘和所述N型电极线通过所述第三通孔与所述N型层形成欧姆接触,
所述第二电流阻挡层包括若干由所述第三通孔分离的单元,所述单元沿所述N型电极线的延伸方向的长度与所述单元之间的间距之比为1/4~3/4。
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述单元的形状为圆形、环形、三角形、五角星形中的一种或多种。
3.根据权利要求1-2任一项所述的发光二极管,其特征在于,所述N型焊盘与所述N型层之间层叠有所述第二电流阻挡层和所述第二透明导电层。
4.一种发光二极管的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在衬底上依次形成N型层、发光层、P型层;
在所述P型层上开设从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽;
在所述P型层上形成第一电流阻挡层,在所述N型层上形成第二电流阻挡层,所述第二电流阻挡层内设有多个延伸到所述N型层的第三通孔;
在所述P型层上、以及所述第一电流阻挡层上形成第一透明导电层,在所述第二电流阻挡层上形成第二透明导电层;
在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔;
在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第三通孔内设置N型焊盘,在所述第三通孔内和所述第二透明导电层上设置N型电极线,
所述第二电流阻挡层包括若干由所述第三通孔分离的单元,所述单元沿所述N型电极线的延伸方向的长度与所述单元之间的间距之比为1/4~3/4。
5.根据权利要求4所述的制作方法,其特征在于,所述单元的形状为圆形、环形、三角形、五角星形中的一种或多种。
6.根据权利要求4-5任一项所述的制作方法,其特征在于,所述N型焊盘与所述N型层之间层叠有所述第二电流阻挡层和所述第二透明导电层。
7.根据权利要求4-5任一项所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一透明导电层上形成延伸到所述凹槽内的钝化层,所述钝化层内设有延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔,包括:
在所述第一透明导电层和所述第二透明导电层上铺设一层钝化层;
采用光刻工艺在所述钝化层上形成设定图形的光刻胶;
利用所述设定图形的光刻胶对所述钝化层进行刻蚀,在所述钝化层内形成延伸到所述P型层的第一通孔、以及延伸到所述第一透明导电层的第二通孔。
8.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述在所述第一通孔内设置P型焊盘,在所述第二通孔内设置P型电极线,在所述第三通孔内设置N型焊盘,在所述第三通孔内和所述第二透明导电层上设置N型电极线,包括:
在所述第一通孔内、第二通孔内、第三通孔内、以及所述光刻胶上形成电极;
剥离所述光刻胶,得到所述P型焊盘、所述P型电极线、所述N型焊盘、以及所述N型电极线。
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