[发明专利]一种可调谐微测辐射热计像元结构及像元阵列有效
| 申请号： | 201610072757.0 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105737993B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李聪科;李辉 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 辐射热 计像元 结构 阵列 | ||
1.一种可调谐微测辐射热计像元阵列，其特征在于：包括像元结构，所述像元结构设置有多个，多个所述像元结构的反射层(13)共用一个或多个第二支撑装置(16)，形成反射层(13)平面内的多支撑结构；
像元结构包括衬底(11)、底部电极(12)、反射层(13)和吸收层(14)，所述底部电极(12)固定置于所述衬底(11)的上端面上，所述衬底(11)上设置有立柱，所述立柱上固定设置有第一支撑装置(17)，所述吸收层(14)与所述第一支撑装置(17)固定连接，且所述吸收层(14)处于所述底部电极(12)的上方，所述吸收层(14)的上端固定设置有热敏材料(15)；所述反射层(13)置于所述底部电极(12)和吸收层(14)之间，所述反射层(13)通过可移动的第二支撑装置(16)与所述立柱连接，所述反射层(13)与所述吸收层(14)之间构成法布里-珀罗谐振腔；所述反射层(13)接入基准电位，所述底部电极(12)接入静电驱动电压，所述反射层(13)和底部电极(12)之间形成静电力推动反射层(13)纵向移动；
所述静电驱动电压V：
其中n为第二支撑装置(16)数目，E为第二支撑装置(16)的弹性模量，S′为单个第二支撑装置(16)的横截面积，L′为单个第二支撑装置(16)的长度，Δd为腔长变化量，d为初始腔长，∈为真空介电常数，S为反射层(13)与底部电极(12)的正对面积；
所述热敏材料(15)吸收并转化红外辐射能量；多个所述像元结构排列组成像元阵列结构。
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