[发明专利]一种研磨设备及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨设备，其特征在于，包括研磨盘和夹具，当研磨板状被研磨件时，所述夹具通过电磁件顺次将研磨件和所述板状被研磨件压紧于所述研磨盘上。

2.根据权利要求1所述的研磨设备，其特征在于，所述研磨盘包括上盘，所述上盘用于支持所述夹具，所述上盘的下方形成有容纳腔，所述电磁件设置于所述容纳腔内。

3.根据权利要求2所述的研磨设备，其特征在于，所述研磨盘，还包括底座，所述底座包括第一内凹槽，所述上盘包括第二内凹槽，所述上盘卡持于所述底座上，并且所述上盘的第二内凹槽与所述底座的第一内凹槽相对设置，以形成所述容纳腔。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的研磨设备，其特征在于，所述夹具和所述研磨盘分别为圆盘状，所述研磨盘的边缘处自外向内设置两个限位滚轮，并且所述两个限位滚轮之间的距离小于所述夹具的直径。

5.根据权利要求4所述的研磨设备，其特征在于，所述两个限位滚轮的圆心与所述研磨盘的圆心不在同一条直线上，并且所述两个限位滚轮的圆心自外向内的连线方向朝向所述研磨盘的转动方向。

6.根据权利要求2所述的研磨设备，其特征在于，所述电磁件的数量为多个，所述电磁件分散设置于所述容纳腔内。

7.根据权利要求2所述的研磨设备，其特征在于，所述电磁件的数量为一个，所述电磁件对应于所述夹具设置于所述容纳腔内。

8.一种研磨方法，其特征在于，包括以下步骤：

将研磨件、板状被研磨件和夹具顺次叠置于研磨盘上；

接通电磁件，将所述夹具吸附于所述研磨盘上，以使所述夹具压紧所 述研磨件和所述板状被研磨件于所述研磨盘上。

9.根据权利要求8所述的研磨方法，其特征在于，所述顺次将研磨件、板状被研磨件和夹具叠置于研磨盘上，具体包括：

将所述夹具与所述研磨盘非同心设置，并且所述夹具与所述研磨盘上的两个限位滚轮分别相切。

10.根据权利要求8或9所述的研磨方法，其特征在于，所述接通电磁件，将所述夹具吸附于所述研磨盘上，以使所述夹具压紧所述研磨件和所述板状被研磨件于所述研磨盘上之后，所述方法，还包括：

调节所述研磨盘的转速，以调整所述研磨件对所述板状被研磨件的研磨速度。

11.根据权利要求8或9所述的研磨方法，其特征在于，所述接通电磁件，将所述夹具吸附于所述研磨盘上，以使所述夹具压紧所述研磨件和所述板状被研磨件于所述研磨盘上之后，所述方法，还包括：

调节所述电磁件的通电电流，以调整所述夹具对所述研磨盘的压紧力。