[发明专利]一种用于检测大气中酸性超细微粒子的方法及装置

权利要求书

1.一种用于检测大气中酸性超细微粒子的装置，其特征在于： 所述装置包括采样器和石英晶体微天平(10)，所述采样器用于采集 带有酸性超细微粒子的气体，所述石英晶体微天平(10)包括带有晶 振片(3)的探头，所述晶振片(3)上涂覆有铁纳米膜，且所述晶振 片(3)位于采样器内。

2.如权利要求1所述的一种用于检测大气中酸性超细微粒子的 装置，其特征在于：所述铁纳米膜的厚度为15～20nm。

3.如权利要求1所述的一种用于检测大气中酸性超细微粒子的 装置，其特征在于：所述石英晶体微天平(10)的灵敏度为0.02ng。

4.一种权利要求1至3中任一种用于检测大气中酸性超细微粒 子的装置的制备方法，其特征在于：通过磁控溅射向铁耙上喷溅铁纳 米膜，所述铁耙的厚度小于1mm，所述铁纳米膜的厚度为15～20nm。

5.如权利要求4所述的一种用于检测大气中酸性超细微粒子的 装置的制备方法，其特征在于：所述磁控溅射的条件为：加速电压为 800V、磁场为300G、气压为8mTorr、电流密度为40mA/cm、沉淀 速率为100nm/min。

6.一种采用权利要求1至3中任一项所述装置检测大气中酸性 超细微粒子的方法，包括以下步骤：

S1、向采样器的进气端通入带有酸性超细微粒子的气体，所述晶 振片(3)的铁纳米膜上沉积带有酸性超细微粒子的微粒子并形成细 微粒子膜；

S2、石英晶体微天平(10)实时称量铁纳米膜表面沉积的微粒子 重量，并记录通气完成后的吸附重量为G1；

S3、使用惰性气体吹洗带有微粒子的铁纳米膜至非酸性超细微粒 子脱落，得到仅带有酸性超细微粒子的铁纳米膜并称量，记录重量为 G2，G2为晶振片(3)上吸附的酸性超细微粒子的重量。

7.如权利要求6所述的一种检测大气中酸性超细微粒子的方法， 其特征在于：所述步骤S1中向装置中通入带有酸性超细微粒子气体 的时间为4h，气体流速为0.03Lmin^-1。

8.如权利要求6所述的一种检测大气中酸性超细微粒子的方法， 其特征在于：所述步骤S2和步骤S3之间还包括以下步骤：将带有微 粒子的铁纳米膜放置至少12h至酸性超细微粒子与铁纳米膜紧密结 合。

9.如权利要求6所述的一种检测大气中酸性超细微粒子的方法， 其特征在于：所述步骤S3中使用惰性气体吹洗，所述惰性气体的流 速为5～40m/s，吹洗时间为5s。

10.如权利要求9所述的一种检测大气中酸性超细微粒子的方法， 其特征在于：所述步骤S3中使用惰性气体吹洗，所述惰性气体的流 速为15m/s。