[发明专利]一种蓝宝石化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201610061056.7 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN107011804A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 徐志国 | 申请（专利权）人： | 浙江晶圣美纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 化学 机械抛光 | ||
【权利要求书】：
1.本发明提供一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于：此抛光液包含胶体二氧化硅纳米磨料以及抛光速率促进剂，所述抛光速率促进剂选自异氰酸硅烷类化合物。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征还在于：所述异氰酸硅烷类化合物为异氰酸丙基三乙氧基硅烷、3-硫氰基丙基三乙氧基硅烷、3-脲丙基三乙氧基硅烷。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征还在于，所述的抛光速率促进剂含量为0-10000ppm。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征还在于，优选的纳米磨料包含烧结二氧化硅以及胶体二氧化硅。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于，其中所述纳米磨料的重量百分含量为0.01-50.0wt％。
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