[发明专利]连结机构、基板研磨装置、旋转中心定位方法、最大按压负荷确定方法以及记录介质有效
| 申请号： | 201610060343.6 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105856057B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 筱崎弘行 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B53/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 彭里 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连结 机构 研磨 装置 旋转 中心 定位 方法 程序 最大 按压 负荷 确定 | ||
【权利要求书】：
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