[发明专利]一种干式旋片真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及真空泵领域，具体涉及一种干式旋片真空泵。

背景技术

真空泵的种类非常多，按工作原理分，有变容式真空泵、动量传递式真空泵、蒸汽 流真空泵、气体捕集真空泵等大类，其中变容式真空泵是指“通过机械运动连续地改变泵腔 的容积达到抽气和排气目的的真空泵”，变容式真空泵又可细分为往复式活塞泵、旋片式真 空泵、滑阀式真空泵、罗茨泵等多种形式。传统的变容式真空泵通常需要在泵腔内使用油或 其它液体以起到密封和润滑运动部件的作用，这些油或液体会在泵腔中挥发变成蒸汽，通 过管道进入真空系统形成“油蒸汽污染”。伴随着半导体工业、电子工业、食品工业、制药工 业的不断发展，人们迫切需要“无油蒸汽污染的清洁真空”。为满足这种需要，世界各国相继 研制出了多种“泵腔内不使用任何油类或液体”的干式真空泵。

如图1所示为现有干式真空泵的结构示意图，干式旋片真空泵的转子偏心地置于 泵壳内，上端贴近泵壳上壁，形成进排气口间的密封。当电动机带动转子转动时，旋片在离 心力的作用下贴紧泵壳的内壁，在泵壳内形成多个空腔，进气口侧的空腔容积随着转子的 转动而增加，产生真空而吸气；排气口侧的空腔容积随着转子的转动而减小，产生压力而排 气。

现有的干式旋片真空泵存在以下缺点：

1、旋片在工作时与泵壳内壁剧烈摩擦，易损伤旋片和泵壳，影响使用寿命，发热量也较 大；因为同样的原因，为避免泵过快损坏，转子的转速受限，泵的抽速也受到限制；

2、旋片通常采用具备自润滑功能的碳素材料制作，成本较高；而且自润滑材料制作的 旋片在运转中会快速磨损，在泵腔内形成粉末，造成污染；

3、旋片靠转子转动时的离心力贴紧泵壳内壁，由于转速不能太高，所以离心力有限，贴 合不紧密，密封不好，因而泵的真空度不高；

4、旋片在工作过程中受到两个力的作用，一是在离心力的作用下顺着转子中的槽滑向 泵壳内壁，另一方面受到泵壳内壁的摩擦阻力，在这两个力的综合作用下，旋片容易卡在转 子槽中。

发明内容

本发明的目的在于提供一种干式旋片真空泵，解决目前的干式旋片真空泵容易导 致旋片和泵壳受损，影响使用寿命的问题。

本发明的另一个目的是解决旋片转动时离心力有限，导致泵的真空度不高的问 题。

本发明的另一个目的是解决旋片由于受到泵壳内壁的摩擦阻力，容易卡在转子槽 中的问题。

本发明的再一个目的是提高干式旋片真空泵的抽气效率。

本发明为实现上述目的，采用以下技术方案实现：

一种干式旋片真空泵，包括泵体以及往复式传动机构，所述泵体的两侧分别设有进气 口和出气口，泵体内设有分隔结构以及与往复式传动机构联动的旋片，分隔结构与旋片之 间形成多个容积可变的腔室。

进一步地，作为优选方案，所述泵体包括圆筒状的泵壳以及将泵壳的两侧密封的 前盖和后盖，所述泵壳内设有转子以及套接在转子上的旋片，转子与往复式传动机构联动， 分隔结构设置在泵壳内壁上，转子在前盖、后盖的作用下固定在泵壳的中心位置。

进一步地，作为优选方案，所述旋片的两端与泵壳的内壁的间隙为0.05~0.1mm。

进一步地，作为优选方案，所述分隔结构包括左隔离腔体和右隔离腔体，转子设置 在左隔离腔体和右隔离腔体之间；

所述左隔离腔体与泵壳、旋片、前盖、后盖一起构成左上腔室和左下腔室，所述左隔离 腔体包括左进气腔和左出气腔，左进气腔的上下两侧分别设有带单向阀的左进气口，左出 气腔的上下两侧分别设有带单向阀的左出气口，左上腔室和左下腔室均与左进气腔、左出 气腔连通；

所述右隔离腔体与泵壳、旋片、前盖、后盖一起构成右上腔室和右下腔室，所述右隔离 腔体包括右进气腔和右出气腔，右进气腔的上下两侧分别设有带单向阀的右进气口，右出 气腔的上下两侧分别设有带单向阀的右出气口，右上腔室和右下腔室均与右进气腔、右出 气腔连通；

所述左上腔室、左下腔室、右上腔室和右下腔室为四个独立的封闭空间，所述前盖和后 盖上设有与左进气腔、左出气腔、右进气腔、右出气腔相连通的进气孔、出气孔。