[发明专利]一种立式热处理装置

权利要求书

1.一种立式热处理装置，包括晶舟、保温桶以及工艺门，所述晶舟用于承载多枚晶圆，并设置在所述保温桶上，所述保温桶安装在所述工艺门上，其特征在于，所述保温桶包括底座、立柱、石英外罩以及若干组插片，其中，

所述底座安装在工艺门上，所述底座上具有至少两个定位凹槽与工艺门上位置相应的定位销相配合，以对所述底座进行定位，所述工艺门上还具有至少两个压板用于按压所述底座的边缘以固定所述底座；

所述立柱为多个，均固定在所述底座上，用于支撑所述晶舟，各立柱的顶部均具有定位凸台以及第一定位孔，所述定位凸台用于限定所述晶舟环状部的内边缘，所述第一定位孔与所述晶舟上的石英螺钉相配合以固定所述晶舟；

所述石英外罩穿过所述立柱套设在所述底座上，所述石英外罩上设有第二定位孔以及第三定位孔，所述第二定位孔通过石英螺钉将所述石英外罩固定在所述底座上；

各组所述插片至少为一片，具有预设长度的直径以及预设宽度的间距，所述插片穿过各立柱装配于所述石英外罩上，所述插片上具有与第三定位孔位置及数量相应的第四定位孔，石英螺钉穿过第四定位孔以及第三定位孔，以使所述插片固定在所述石英外罩上。

2.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，所述定位凹槽为两个，分别设于所述底座的边缘，所述压板呈“┑”形，以按压所述底座的边缘，所述底座边缘具有与所述压板厚度以及位置相适应的凹陷部。

3.根据权利要求2所述的立式热处理装置，其特征在于，所述定位销与所述压板在所述工艺门上相互垂直设置。

4.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，所述第二定位孔包括两个定位孔，一个定位孔设于所述石英外罩的中心处，以使所述石英外罩与所述底座保持同心，另一个定位孔设于所述石英外罩的偏心处，以限制所述石英外罩产生转动。

5.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，所述石英外罩为圆形，所述第三定位孔包括四个定位孔，均匀分布在所述石英外罩的圆周方向上。

6.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，各组所述插片具有相同预设长度的直径以及相同预设宽度的间距。

7.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，各组所述插片具有不同预设长度的直径以及不同预设宽度的间距。

8.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，各组所述插片具有不同预设长度的直径以及相同预设宽度的间距。

9.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，各组所述插片具有相同预设长度的直径以及不同预设宽度的间距。

10.根据权利要求1～9任一所述的立式热处理装置，其特征在于，所述底座为圆形，所述立柱的数量为四个，均匀分布在所述底座的圆周方向上。