[发明专利]一种控制石墨烯晶核生长的载具

权利要求书

1.一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，是一种耐高温的载具，包括上盖、盒子和用于生长石墨烯的平直的金属基底，上盖上开有小孔，上盖和盒子均由石墨、石英、氮化硅、碳化硅或熔点大于1000摄氏度的耐高温材料制成；上盖下表面为平直的，盒子包括底座和四周的围壁，盒子上端开口，底座为平的底壁；金属基底大小小于底座的大小，用于生长石墨烯的平直的金属基底放置于盒子的底座上后金属基底与盖在盒子上的上盖下表面距离小于等于2mm；盒子四周的围壁等高，上盖和盒子四周的围壁的上边缘贴合；可将包含金属基底的载具一起放入CVD管式炉的石英管内进行石墨烯生长。

2.根据权利要求1所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述小孔直径为0.5～2mm。

3.根据权利要求1所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述小孔数目可以是单孔、或者多孔、或者多孔阵列。

4.根据权利要求1所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述金属基底可以为铜箔、Ru、Ni、Ir或Pt中的一种或者两种的合金。

5.根据权利要求1所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述上盖在四周有围壁，下端开口，上盖的围壁在盒子的围壁的内侧或外侧与其相贴合，上盖的围壁的高度可以大于、等于或小于盒子围壁的高度。

6.根据权利要求5所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述上盖和盒子的底座为圆形，上盖在围壁开口端的外侧或内侧上有螺纹卡合的螺纹，相应的盒子的围壁开口端的内侧或外侧有相贴合的螺纹卡合的螺纹。

7.根据权利要求1所述的一种控制石墨烯晶核生长的载具，其特征在于，所述上盖和底座的形状可以为方形、圆形、椭圆形或梯形。