[发明专利]有机发光元件的有机层的制作方法有效
申请号: | 201610055543.2 | 申请日: | 2016-01-27 |
公开(公告)号: | CN107017343B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 周卓辉;李宗翰;撒琉斯·格瑞葛雷维休斯;金塔蕊·可鲁凯蒂 | 申请(专利权)人: | 周卓辉 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;祁建国 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 元件 制作方法 | ||
本发明公开一种有机发光元件的有机层的制作方法,主要是藉由预混有机材料的方式,而将多种有机材料与有机溶剂进行溶解与混合,并且,在完成真空干燥程序之后,通过蒸镀物质容器而一次性地将混合的有机材料蒸镀于基板之上,并将该蒸镀物质容器退出,以依序地重复操作上述流程,进而于基板上依序地形成多个特定的有机层。
技术领域
本发明涉及有机元件制作的技术领域,尤其涉及一种有机发光元件的有机层的制作方法。
背景技术
有机电激发光显示器(Organic Electro-luminescence Display,Organic ELDisplay)又称为有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)是在1987年由柯达(Kodak)公司的C.W.Tang与S.A.VanSlyk等人,率先使用真空蒸镀方式制成,分别将空穴传输材料及电子传输材料,镀覆于透明的氧化铟锡(indium tin oxide,简称ITO)玻璃上,其后再蒸镀一金属电极形成具有自发光性的有机发光二极管装置,由于拥有高亮度、萤幕反应速度快、轻薄短小、全彩、无视角差、不需液晶显示器式背光板以节省灯源及耗电量,因而成为极具潜力的新一代显示器。
请参阅图1,系现有的有机发光二极管装置的剖面图;如图1所示,现有的有机发光二极管装置A的构造由下至上依序包含一基板A1、一阳极A2(Indium Tin Oxide,ITO)、一空穴传输层A3(Hole Transporting Layer,HTL)、一有机发光层A4(Organic EmittingLayer,EML)、一电子传输层A5(Electron Transporting Layer,ETL)、一电子注入层A6(Electron Injection Layer,EIL)及一阴极A7。当施以一顺向偏压电压时,空穴由阳极A2注入,而电子由阴极A7注入,由于外加电场所造成的电位差,使电子及空穴在薄膜中移动,进而在有机发光层A4中产生覆合(recombination)。部分由电子空穴结合所释放的能量,将有机发光层A4的发光分子激发而成为激发态,当发光分子由激发态衰变至基态时,可将释放出来的能量以光子的形式放出,此发光过程称为有机电致发光。
请参阅图2,现有的有机发光二极管装置的蒸镀示意图,如图2所示,现有的有机发光二极管装置的蒸镀方式,首先依据各种材料的蒸镀比例而分别地将主体材料钢瓶C、发光材料钢瓶D以及共体材料钢瓶E进行加热,进而使得其钢瓶内部分别地产生特定压力;接着,再藉由同时地控制上述钢瓶的阀门喷嘴(C1、D1、E1)而使得该些钢瓶内部的主体材料、发光材料以及共体材料以所设定的蒸镀比例而蒸镀于一基板B上,并完成有机发光二极管装置的单层蒸镀流程。
此外,当上述的蒸镀流程应用于实际产品量产中时,藉由持续地加热钢瓶,并通过阀门喷嘴的控制而依次地蒸镀于不同基板上,直至钢瓶内部的材料用尽为止。然而,于上述方式之中,由于钢瓶内部的材料将不断地流失,因此,当其加热温度未随之进行调整时,其钢瓶内部的压力将无法维持于其特定压力,如此,将导致阀门喷嘴所喷出的材料蒸镀比例有所误差,进而降低有机发光二极管的生产良率。
呈上的叙述,藉由分别地加热多管钢瓶的方式更将导致加热成本的提高,且通常于有机发光二极管制作流程结束之后,其钢瓶内部仍然会残留有未完全使用的材料,然而,由于钢瓶内部的压缩比已经严重地失调的缘故,所以,于下一次有机发光二极管制作时,需要将钢瓶进行撤换的动作并维持特定的材料蒸镀比例;如此方式,不仅会造成材料资源的浪费,更将大幅地提高有机发光二极管的制作成本。
经由上述,可以得知现有的有机发光二极管装置的蒸镀方式仍具有缺点与不足;有鉴于此,本案的发明提供一种有机发光元件的有机层的制作方法。
发明内容
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择