[发明专利]一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统

权利要求书

1.一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，其特征在于，沿着光路传播方向，所述系统包括三组反射镜，第一组反射镜由视场复眼阵列组成，第二组反射镜由光阑复眼阵列组成，第三组反射镜为中继镜组；其中，所述视场复眼阵列由N个视场复眼构成，每一视场复眼为一个自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面为矩形，且所有矩形的尺寸均不相同；所述光阑复眼阵列由N个光阑复眼构成，每一光阑复眼为一个球面反射镜或自由曲面反射镜，每一反射镜的反射面均为矩形，且所有矩形的尺寸相同；视场复眼阵列上的N个视场复眼与光阑复眼阵列上的N个光阑复眼一一对应，所述N为照明系统出瞳面上光强值不为零的像素的总数；

所述光阑复眼用于将入射光束反射至与其对应的光阑复眼上，并且在光阑复眼上形成一个弧形光斑；所述光阑复眼用于对入射的弧形光斑进行整形，使其反射一设定尺寸且均匀的弧形光斑至中继镜组；所述中继镜组用于将入射的的弧形光斑成像于掩模面上，且掩模面上所有弧形光斑的尺寸相同。

2.根据权利要求1所述可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，其特征在于，所述中继镜组由两个二次曲面反射镜构成，还用于将光阑复眼成像于所述照明系统所处的投影式光刻机的投影物镜的入瞳面上。

3.根据权利要求1所述可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统，其特征在于，作为视场复眼的自由曲面反射镜的反射面尺寸确定原则为：反射面所反射的每一个子光束所包含的光强与给定出瞳面上对应像素的光强值相同。