[发明专利]一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器

权利要求书

1.一种PMMA膜电制备方法，该方法包括：

步骤1：PMMA的清洗方法；

将PMMA颗粒使用洗洁精和去离子水清洗后氮气吹干；再将吹干的PMMA颗粒使用无水乙醇浸泡后，使用超声机超声清洗，然后使用N₂气吹干待用；将上述PMMA颗粒再用去离子水浸泡，使用超声清洗机超声清洗，清洗完后使用N₂气吹干待用；

步骤2：对旋涂需要的基板做预处理；

步骤3：将适量干燥的PMMA颗粒放入CHCl₃、CCl₄或TFH溶剂中，搅拌至PMMA颗粒完全溶解于溶剂中；

步骤4：将基板放置在旋涂机上，将旋涂机转速设定在300rpm～400rpm；将足量的PMMA的溶液滴在基板上，至PMMA溶液均匀平铺于基板上；旋涂成功后，将覆有PMMA薄膜的基板放置在高温烘箱中，将烘箱温度设置在50℃～80℃通风热烘至薄膜凝固成型，最后剥离薄膜。

2.如权利要1所述的一种PMMA膜电制备方法，其特征在于所述步骤2中采用的基板为玻璃基板，玻璃基板的预处理方法为：

将玻璃基板先使用洗洁精清洗去除表面污渍，再用清水清洗后使用N₂气吹干；再将玻璃基板浸泡在丙酮溶剂中超声清洗，洗净取出后用清水冲洗，N₂气吹干；再使用无水乙醇超声清洗，洗净取出后清水冲洗，N₂气吹干备用。

3.如权利要1所述的一种PMMA膜电制备方法，其特征在于所述步骤2中采用的基板为铝板基板，铝板基板的预处理方法为：

Al板先使用去离子水超声清洗，再使用丙酮超声清洗，再使用去离子水超声清洗；

将BTSE溶于体积比为3：1的乙醇和水的混合溶液中，BTSE为“1,2-双(三乙氧基硅基)乙烷”，制备成硅烷化试剂，然后将上述硅烷化试剂放在35℃～50℃恒温槽中水解；待硅烷化试剂水解后，将干燥的Al板放入上述硅烷化试剂中1min～5min，取出放入温度设定50℃～80℃的烘箱干燥固化。

4.一种PMMA膜电阻式柔性压力传感器，该传感器包括：上电极、上电极衬底、下电极、下电极衬底、封装结构，上电极位于上电极衬底下表面，下电极位于下电极衬底的上表面，上电极与下电极之间留有空腔，所述上、下电极包括：导电薄膜、设置于导电薄膜上的银电极，与银电极相连的铜导线，下电极衬底为PDMS薄膜，其特征在于上电极衬底为PMMA薄膜。