[发明专利]一种永磁悬浮微型机床导轨

说明书

本发明公开了一种永磁悬浮微型机床导轨，包括固定底座、悬浮支架、垂直磁力调节器、水平磁力调节器、垂直测距传感器和水平测距传感器；所述固定底座的两侧由外向内依次对称设置有水平磁力锚片、垂直磁力锚片和水平测距锚片；所述悬浮支架呈闭合的方环结构，顶部为工作平台，底部为支撑平台，所述支撑平台的左右两侧对称设置有水平磁力调节支架；所述水平磁力调节器通过螺钉固定在水平磁力调节支架上，所述垂直磁力调节器通过螺钉固定在水平磁力调节支架旁边的支撑平台上，所述支撑平台的中部还固定有所述垂直测距传感器和水平测距传感器。本发明能够使微型机床导轨传动中无摩擦阻力，并且运动件抵抗外界干扰的能力强，加工精度极高。

【技术领域】

本发明涉及微型机床设备的技术领域，特别是永磁悬浮微型机床导轨的技术领域。

【背景技术】

微机电系统在21世纪具有极强的发展空间，被广泛应用到工业和生活中的各个领域，微机电系统的发展方向是由“微电子-机械”向“微机械-电子”进行转变，微机电系统的突出特点是零部件尺度在毫米以下的量级之内，所以加工装配均较为复杂，传统的加工设备难以胜任这种尺度的零件加工和精度要求，需要特制的微型机床进行加工，由于尺度效应的影响，摩擦力已成为精度影响不可忽略的因素，在超精密加工中已被广泛应用的磁悬浮技术作为一种无摩擦的驱动运输模式在微纳加工中也可以得到理想的应用。

传统的磁悬浮导轨一般采用电磁铁进行磁力控制，随之而来的问题是电磁发热引起的变形，这在微型化的机床导轨中是不可被接受的，而永磁悬浮导轨一般不具备磁力调控的功能，对外界干扰的抵抗能力较弱，也严重制约着加工精度。

【发明内容】

本发明的目的就是解决现有磁悬浮导轨技术中无法兼顾传动精度与磁力灵活调控以抵抗干扰的问题，提出一种永磁悬浮微型机床导轨，能够使微型机床导轨传动中无摩擦阻力，并且运动件抵抗外界干扰的能力强，加工精度极高。

为实现上述目的，本发明提出了一种永磁悬浮微型机床导轨，包括固定底座、悬浮支架、垂直磁力调节器、水平磁力调节器、垂直测距传感器和水平测距传感器；所述固定底座的两侧由外向内依次对称设置有水平磁力锚片、垂直磁力锚片和水平测距锚片；所述悬浮支架呈闭合的方环结构，顶部为工作平台，底部为支撑平台，所述支撑平台的左右两侧对称设置有水平磁力调节支架；所述水平磁力调节器通过螺钉固定在水平磁力调节支架上，所述垂直磁力调节器通过螺钉固定在水平磁力调节支架旁边的支撑平台上，所述支撑平台的中部还固定有所述垂直测距传感器和水平测距传感器。

作为优选，所述水平磁力锚片的高度大于所述垂直磁力锚片的高度。

作为优选，所述水平磁力锚片和垂直磁力锚片均为铁磁性材料。

作为优选，所述悬浮支架的材料为无磁钢。

本发明的有益效果：本发明通过将永磁力可调节的磁力调节器安装在悬浮支架上实现水平方向和垂直方向的磁力调节，使得导轨驱动避免了摩擦作用，能够抵抗外界力干扰，同时由于无磁电转换的热效应存在，导轨驱动精度得到保证。

本发明的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

【附图说明】

图1是本发明永磁悬浮微型机床导轨的整体结构示意图；

图2是图1中A部的放大图；

图3是本发明永磁悬浮微型机床导轨中垂直磁力调节器的结构示意图；

图4是本发明永磁悬浮微型机床导轨中悬浮支架的结构示意图。