[发明专利]一种制备T相铁酸铋薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201610040335.5 申请日: 2016-01-21
公开(公告)号: CN105702762B 公开(公告)日: 2017-11-17
发明(设计)人: 高荣礼;符春林;蔡苇;陈刚;邓小玲 申请(专利权)人: 重庆科技学院
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/0445;H01L31/18
代理公司: 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)50223 代理人: 王玉芝
地址: 401331*** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 相铁酸铋 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:

铁前驱液的配制:将冰醋酸加入到硝酸铁中,置于70-90℃恒温水浴锅中加热溶解,冷却到室温后转移入容量瓶中,再滴加乙二醇乙醚定容即得铁前驱液;

铋前驱液的配制:将冰醋酸和乙二醇乙醚作为混合溶剂加入到硝酸铋中,经溶解后转移到容量瓶中,滴入乙二醇乙醚定容即得铋前驱液;

将铁前驱液滴加到铋前驱液中,滴加后加入乙酰丙酮以调整溶胶粘度,混合均匀后经24小时即得纯铁酸铋的溶胶;

将LaAlO3基片分别用酒精和丙酮在超声波中进行清洗,晾干;放置于匀胶机的吸片上;用除湿机将匀胶机周围的空气湿度降低到20%-50%;

取铁酸铋溶胶,用滴管滴在LaAlO3基片,放置5-20秒,然后在匀胶机上匀胶;

匀胶机停止之后,将LaAlO3基片取下,用吹风机从基片的背面通过热风吹干,然后放入管式炉进行烧结;管式炉中氧气的压强保持在0.01-0.03M Pa,以每分钟2-5°的速度将温度升高到200-300°,保温10-30分钟,然后以相同的升温速度升到550-620°,保温1-3个小时;之后自然降到室温;即制得T相铁酸铋薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:在铁前驱液滴加到铋前驱液溶胶过程中,还可加入适量乙醇胺以控制溶胶的粘度。

3.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:所述LaAlO3基片尺寸为10×10×0.5mm的(001)取向的基片。

4.根据权利要求1所述的一种制备T相铁酸铋薄膜的方法,其特征在于:铁酸铋溶胶滴在LaAlO3基片在匀胶机上的匀胶过程包括,先在150-250转每分钟的速度下匀胶5-15秒,然后匀胶机转速提高到2500-4000转每分钟时匀胶10-30秒。

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