[发明专利]微小型中红外光波导气体传感器有效
| 申请号： | 201610040150.4 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN105675529B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王玲芳;杨兰;孙豹;陈开鑫 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏;王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微小 红外光 波导 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，包括气室(1)、入气孔(2)、排气孔(3)、进光孔(4)、出光孔(5)以及光波导；所述入气孔(2)和排气孔(3)均设置于气室(1)顶端；所述进光孔(4)和出光孔(5)分别设置于气室(1)相对的两个侧壁上；所述光波导包括基底(6)和芯层(7)，所述基底(6)设置于气室(1)底端，所述芯层(7)设置于基底(6)上并采用分段式结构；所述进光孔(4)、芯层(7)以及出光孔(5)位于同一直线上。
2.根据权利要求1所述的微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，所述基底(6)采用二氧化硅作为材料。
3.根据权利要求1所述的微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，所述芯层(7)采用硫系玻璃作为材料。
4.根据权利要求1所述的微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，采用量子级联激光器作为检测光源。
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