[发明专利]PERC太阳能电池及其制备方法有效
| 申请号： | 201610038035.3 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN105489709B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张为国;刘超;刘成法;张松;陈寒;夏世伟;季海晨 | 申请（专利权）人： | 上海大族新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 何冲 |
| 地址： | 201615 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | perc 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
对硅片依次进行双面抛光、制绒、扩散、刻蚀和去杂质玻璃、高锰酸氧化；
背面依次沉积钝化层以及保护层；
正面沉积减反射层；
背面局部开口、印刷正背面金属浆料以及烧结，得到PERC太阳能电池；
所述高锰酸氧化步骤中，氧化的时间为5min～30min，氧化的温度为50℃～80℃；高锰酸的体积分数为50％～80％。
2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述双面抛光步骤中，采用无机碱溶液进行双面抛光，单面抛光减薄量为5μm～15μm。
3.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制绒步骤中，采用等离子刻蚀绒面。
4.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述扩散步骤中，采用旋涂法进行扩散，扩散方阻为70ohm/sq～100ohm/sq。
5.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述钝化层为氧化铝层或氧化硅层，所述保护层为氮化硅薄膜，所述减反射层为氮化硅减反射薄膜。
6.根据权利要求5所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述钝化层的厚度为5nm～40nm。
7.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述硅片为P型多晶硅。
8.一种PERC太阳能电池，其特征在于，所述PERC太阳能电池根据权利要求1～7中任一项所述的PERC太阳能电池的制备方法制备而成。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
