[发明专利]机械式取料机构有效

专利信息
申请号: 201610036815.4 申请日: 2016-01-20
公开(公告)号: CN105552012B 公开(公告)日: 2019-02-12
发明(设计)人: 刘晓成;史晓华 申请(专利权)人: 苏州光越微纳科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人: 靳苗静
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 机械式 机构
【说明书】:

发明公开了机械式取料机构,机械式取料机构包括:基座;驱动装置;压板,压板与驱动装置传动连接,驱动装置驱动压板升降;料爪,压板的一端或相对两端与料爪通过拉簧传动连接,料爪包括与拉簧连接的连接部以及用于抓取料片的抓取部;料爪固定块,固定设置于基座上,且料爪连接部与料爪固定块通过连接轴转动连接;驱动装置驱动压板升降,压板带动料爪的抓取部以连接轴为圆心做圆弧运动。本发明机械式取料机构结构简单、低成本、低功耗、且在转移料片的过程中不会出现掉料的现象,提高料片的生产效率。

技术领域

本发明涉及机械技术领域,具体涉及一种机械式取料机构。

背景技术

在半导体料片生产的前道工序中,常需要利用取料机构将料片从一工位取放到下一工位。传统的取料机构采用真空吸附的方式对料片进行拿取,然而其存在几点问题。

第一,由于半导体料片体积小,采用真空吸附方式,其吸附力差,易掉料。

第二,成本高,耗电。

故一种结构简单,低成本,低功耗,且不易掉料的机械式取料机构亟待提出。

发明内容

为了解决上述技术问题,本发明提出了机械式取料机构,该机械式取料机构结构简单、低成本、低功耗、且在转移料片的过程中不会出现掉料的现象,提高料片的生产效率。

为了达到上述目的,本发明的技术方案如下:

机械式取料机构,包括:基座;驱动装置;压板,压板与驱动装置传动连接,驱动装置驱动压板升降;料爪,压板的一端或相对两端与料爪通过拉簧传动连接,料爪包括与拉簧连接的连接部以及用于抓取料片的抓取部;料爪固定块,固定设置于基座上,且料爪连接部与料爪固定块通过连接轴转动连接;驱动装置驱动压板升降,压板带动料爪的抓取部以连接轴为圆心做圆弧运动。

本发明一种机械式取料机构结构巧妙,在运动的过程中,只有驱动装置需要进行供电,相比传统的真空吸附取料的方式,其更省电,更低功耗。而本发明采用料爪对料片进行抓取,在转移的过程中,不会发生脱料的现象,更安全。

在上述技术方案的基础上,还可做如下改进:

作为优选的方案,料爪成对设置于压板的一端或相对两端,每个料爪的连接部均通过拉簧与压板传动连接。

采用上述优选的方案,料爪从料片的两端进行抓取,抓取更稳定,不会脱料。

作为优选的方案,在基座上还设有导向柱,压板与导向柱连接,驱动装置驱动压板沿导向柱升降。

采用上述优选的方案,保证压板升降的稳定性。

作为优选的方案,压板通过连接块与导向柱连接。

采用上述优选的方案,结构更稳定。

作为优选的方案,在导向柱上设有复位弹簧。

采用上述优选的方案,驱动装置只需要进行一个方向驱动后,复位弹簧自动将压板复位,降低其功耗。

作为优选的方案,在基座上用于感应料片的料片感应装置。

采用上述优选的方案,用于实时感应监测料片是否到达待取料工位。

作为优选的方案,在压板上还设有用于调节压板高度的高度调节装置。

采用上述优选的方案,通过高度调节装置调节压板的最大高度,从而调节料爪张开的最大角度,便于抓取不同宽度的料片。

作为优选的方案,料爪的抓取部呈勾状。

采用上述优选的方案,料片的抓取更稳定。

附图说明

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