[发明专利]一种腐蚀液循环装置在审

专利信息
申请号: 201610036599.3 申请日: 2016-01-20
公开(公告)号: CN106987895A 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 王圣武 申请(专利权)人: 湖北瑞廷电子材料科技有限公司
主分类号: C25F7/00 分类号: C25F7/00;H01G9/055;H01G13/00
代理公司: 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙)42226 代理人: 彭娅
地址: 444100 湖北省宜*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 腐蚀 循环 装置
【权利要求书】:

1.一种腐蚀液循环装置,包括罐体(1),其特征在于:罐体(1)内设有循环输液装置(2), 所述循环输液装置(2)包括进液输送管(3),进液输送管(3)下端设有至少一根喷管(4),喷管(4)内由上往下设有多个喷孔组(5),进液输送管(3)上端与上竖直管(6)连通,上竖直管(6)通过传送管(7)与下竖直管(8)连接,下竖直管(8)与出液输送管(9)连接,出液输送管(9)上设有吸管(10),吸管(10)上设有吸孔组(11)。

2.根据权利要求1所述的一种腐蚀液循环装置,其特征在于: 所述喷孔组(5)为多个螺旋孔(12),螺旋孔(12)均布环绕在通孔的轴线中心。

3.根据权利要求1所述的一种腐蚀液循环装置,其特征在于: 所述吸孔组(11)为多个斜孔(13),斜孔(13)均布环绕在通孔的轴线中心。

4.根据权利要求1所述的一种腐蚀液循环装置,其特征在于: 所述喷管(4)和吸管(10)均为多根,分别平行竖直设置在进液输送管(3)和出液输送管(9)上。

5.根据权利要求1所述的一种腐蚀液循环装置,其特征在于: 所述吸管(10)顶端安装有分散板(15),分散板(15)上表面均布有凸起。

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