[发明专利]单晶制造装置有效
申请号: | 201610035873.5 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN105803516B | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 阿部信平 | 申请(专利权)人: | 丰田自动车株式会社 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/36 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 严鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶制造装置 主体部 腔室 反射构件 底板部 顶板部 石英玻璃 整个区域 中空筒状 周向分割 观察腔 光反射 室内部 单晶 开闭 外周 连结 制造 | ||
【说明书】:
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