[发明专利]一种纳米发电机及其制造方法

权利要求书

1.一种纳米发电机，包括：

正电极；

负电极，用于与所述正电极形成嵌套结构；其中，

所述正电极为在硅衬底上形成氧化锌纳米棒阵列后形成的电极；所述负电极为在锌衬底上形成氧化锌纳米针阵列后形成的电极；

其中，在氧化锌纳米棒振动过程中，氧化锌纳米针相对氧化锌纳米棒向两个相反的方向运动。

2.根据权利要求1所述的纳米发电机，其特征在于，所述正电极中的硅衬底为P型半导体材料，所述氧化锌纳米棒阵列为N型半导体材料；所述正电极中硅衬底与氧化锌纳米棒阵列的接触区域形成有P-N异质结。

3.根据权利要求1或2所述的纳米发电机，其特征在于，所述纳米发电机还包括第一引线、第二引线和封装件；所述第一引线和第二引线对应与所述正电极和负电极连接；

所述封装件，用于套设所述正电极和所述负电极。

4.根据权利要求1或2所述的纳米发电机，其特征在于，所述氧化锌纳米针阵列中氧化锌纳米针的长度为5-10微米，直径为200-800nm。

5.根据权利要求1或2所述的纳米发电机，其特征在于，所述氧化锌纳米棒阵列中氧化锌纳米棒的长度8-12微米，直径100-200nm。

6.根据权利要求1或2所述的纳米发电机，其特征在于，所述正电极和负电极均是采用水热法而形成的。

7.一种纳米发电机的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

在锌衬底上形成氧化锌纳米针阵列；

在硅衬底上形成氧化锌纳米棒阵列；

将形成有氧化锌纳米针阵列的锌衬底设置为负电极，将形成有氧化锌纳米棒阵列的硅衬底设置为正电极，以使氧化锌纳米针阵列与所述氧化锌纳米棒阵列形成嵌套结构；

其中，在氧化锌纳米棒振动过程中，氧化锌纳米针相对氧化锌纳米棒向两个相反的方向运动。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述正电极中的硅衬底为P型半导体材料，所述氧化锌纳米棒阵列为N型半导体材料；所述正电极中硅衬底与氧化锌纳米棒阵列的接触区域形成有P-N异质结。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

将第一引线、第二引线对应与所述正电极和负电极连接；

将封装件套设于所述正电极和所述负电极上。

10.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述在锌衬底上形成氧化锌纳米针阵列，包括：

采用水热法在锌衬底上形成氧化锌纳米针阵列。

11.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述硅衬底上形成氧化锌纳米棒阵列，包括：

采用水热法在硅衬底上形成氧化锌纳米棒阵列。

12.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述氧化锌纳米针阵列中氧化锌纳米针的长度为5-10微米，直径为200-800nm。

13.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述氧化锌纳米棒阵列中氧化锌纳米棒的长度8-12微米，直径100-200nm。