[发明专利]基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置

说明书

本申请是2012年3月1日提出的申请号为201210052118.X的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及搬送基板的基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置。

背景技术

在半导体装置和平板显示器(FPD：Flat Panel Display)的制造工序中，使用具有多个处理模块和分别相对这些处理模块搬入搬出基板的基板搬送装置的基板处理装置。在这样的基板处理装置中，利用基板搬送装置向多个处理模块依次搬送基板，进行与处理模块对应的规定的处理。此时，例如当未将基板置于处理模块内的适当的位置时，存在在基板整个面不能进行均一的处理的问题。因此，基板搬送装置构成为能够发挥较高的搬送精度，但为了在适当的位置放置基板，不能缺少搬送位置调整。

作为基板搬送装置的搬送位置调整，例如有时利用基板搬送装置搬送搭载有照相机或传感器等的检测器的调整夹具(adjusting jig)，基于检测器检测到的位置求出与规定的基准位置的偏移，进行修正该偏移的操作(指点操作)(例如专利文献1和2)。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009－54665号公报

专利文献2：日本特开2008－109027号公报

发明内容

发明想要解决的问题

但是，在使用调整夹具的情况下，当不以相应的频率进行调整夹具的检查和校正时，存在由于调整夹具自身导致的调整误差的问题。另外，当调整夹具的安装存在失误时，有时不能进行适当的搬送位置调整。还有，调整夹具比较昂贵，并且需要相应于位于基板的搬送目的地的处理模块的形状等准备多个调整夹具，因此搬送位置调整有时需要相当大的费用。因此，期望以不使用调整夹具的方式进行基板搬送装置的位置调整。

所以，本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法和基板处理装置。

用于解决问题的方法

根据本发明的第一方面，提供一种基板搬送装置的位置调整方法，包括：第一检测步骤，在基板搬送装置中，利用基板搬送装置的基板保持部保持基板，检测该基板的第一位置；将由上述基板保持部保持的上述基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用上述基板旋转部使保持于上述基板旋转部的上述基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从上述基板旋转部接收被上述基板旋转部旋转的上述基板的步骤；第二检测步骤，检测上述基板保持部接收的该基板的第二位置；基于上述第一位置和上述第二位置，掌握上述基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于上述掌握的上述旋转中心位置，调整上述基板保持部的位置的步骤。

根据本发明的第二方面，提供一种基板处理装置，其具有：

保持并搬送基板的基板保持部；位置检测部，检测与上述基板保持部相对设置，由上述基板保持部保持的上述基板的位置；基板旋转部，能够在与上述基板保持部之间进行上述基板的交接，保持并旋转上述基板；和控制部，构成为：利用上述位置检测部求出由上述基板保持部保持的上述基板的第一位置、和上述基板被交接到上述基板旋转部并被旋转规定的角度、由上述基板保持部接收的上述基板的第二位置，基于上述第一位置和上述第二位置掌握上述基板旋转部的旋转中心位置，基于掌握的上述旋转中心位置调整上述基板保持部的位置。

根据本发明的第三方面，提供一种基板处理装置，具有：基板载置部，载置由基板搬送装置的基板保持部搬送的基板；和与由上述基板保持部搬送的上述基板的外边缘部接触，能够保持该基板的至少三个基板支承部件，上述至少三个基板支承部件配置为，由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的位置与上述基板载置部中的上述基板的适当位置对应。

根据本发明的第四方面，提供一种位置调整方法，具有：基板载置部，载置由基板搬送装置的基板保持部搬送的基板；和与由上述基板保持部搬送的上述基板的外边缘部接触，能够保持该基板的至少三个基板支承部件，上述至少三个基板支承部件配置为，由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的位置与上述基板载置部中的上述基板的适当位置对应，上述基板搬送装置的位置调整方法的特征在于，具有：由上述基板保持部搬送上述基板，使上述基板保持于上述至少三个基板支承部件的步骤；从上述基板保持部接收由上述至少三个基板支承部件保持的上述基板的步骤；和检测接收的上述基板的位置的步骤，基于检测的上述基板的位置，调整上述基板保持部的位置。