[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离；

所述测量装置能够测量用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离，所述夹具包括纵向延伸的固定部和与所述固定部相连并朝向所述基台中部横向延伸的夹持部，所述用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离包括所述固定部与所述基台之间的横向距离以及所述夹持部与所述基台之间的纵向距离，所述定位件包括相连的纵向部和横向部，所述纵向部的至少一部分能够与所述夹具的固定部的朝向所述基台的表面贴合，所述横向部的至少一部分能够与所述夹具的夹持部的朝向所述基台的表面贴合。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述横向测量机构和所述纵向测量机构之间的相对位置保持不变，所述定位件能够相对于所述横向测量机构和所述纵向测量机构移动。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述横向测量机构包括底座，所述底座上设置有横向排列的多个刻度；所述纵向测量机构包括至少一个纵向标尺，所述纵向标尺上设置有纵向排列的多个刻度；所述纵向标尺和所述底座之间的相对位置保持不变，所述定位件移动至任意位置时，所述定位件上的预定位置在所述底座上的投影位于所述底座上刻度的范围内，且所述定位件上的预定位置在所述纵向标尺上的投影位于所述纵向标尺上刻度的范围内。

4.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，当所述定位件位于所述初始位置时，所述纵向部与所述底座的朝向所述待测量物体的侧面相贴合，且所述横向部与所述底座的顶面相贴合。

5.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述定位件相连，用于带动所述定位件相对于所述横向测量机构进行纵向移动，并带动所述定位件相对于所述纵向测量机构进行横向移动。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，所述驱动机构包括与各个所述纵向标尺分别对应的驱动轴和与各个所述驱动轴分别对应相连的连接组件，所述纵向标尺上设置有第一通孔，所述驱动轴的一端穿过相应的纵向标尺上的第一通孔，所述连接组件与所述定位件相连，所述驱动轴用于带动所述连接组件沿所述底座上刻度的排列方向移动。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于，所述驱动轴的表面形成有外螺纹，所述第一通孔的内壁形成有与所述驱动轴配合的内螺纹，所述驱动轴的轴线方向与所述底座上的刻度的排列方向相同。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述纵向测量机构包括两个所述纵向标尺，所述驱动机构包括两个所述驱动轴和两个所述连接组件，所述连接组件包括连接轴、表面设置有外螺纹的旋转轴、相互啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮固定在所述驱动轴上，所述第二锥齿轮固定在所述旋转轴上，所述旋转轴的轴线方向与所述纵向标尺上刻度的排列方向相同，所述连接轴的第一端与所述驱动轴相连，所述连接轴的第二端与所述旋转轴相连，所述定位件的横向部上设置有与所述旋转轴的外螺纹相匹配的螺纹孔，两个所述连接组件的两个旋转轴所分别对应的两个螺纹孔不同轴，所述旋转轴的底端穿过相应的所述螺纹孔，所述驱动轴能够绕其轴线与所述连接轴发生相对旋转，所述旋转轴能够绕其轴线与所述连接轴发生相对旋转，所述驱动轴的螺纹旋向与相应的所述旋转轴的螺纹旋向相同。

9.根据权利要求8所述的测量装置，其特征在于，所述旋转轴内形成有沿其轴线方向的盲孔或第二通孔，所述连接轴的第二端伸入所述盲孔或所述第二通孔中，所述驱动机构还包括轴承，所述轴承的外圈与所述盲孔或所述第二通孔的内壁过盈配合，所述轴承的内圈与所述旋转轴过盈配合。