[发明专利]一种简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置

说明书

技术领域

本发明涉及显微镜技术领域，尤其涉及一种简易型显微镜物镜的 倾斜调整校验装置。

背景技术

显微镜的放大作用主要取决于物镜，物镜是由若干个透镜组合而 成的一个透镜组。物镜作为显微镜最重要的光学部件，直接关系和影 响成像的质量和分辨率等各项光学技术参数，亦是衡量一台显微镜质 量的首要标准。随着成像质量、分辨率要求的提高及各种突破光学衍 射极限的技术的快速发展，各种高数值孔径例如水浸、油浸及更高数 值孔径的固浸物镜应运而生。在光学检测的过程中，若显微镜的物镜 倾斜或者光线中心偏离物镜中心，会导致像差增加，使得聚光能力及 数值孔径难以充分使用，直接降低成像的质量和分辨率等技术参数， 甚至导致某些突破衍射极限的方法失效。因此，检测前有必要对显微 镜中安装物镜的物镜架进行倾斜调整及校验，以使物镜架上的物镜安 装孔的中心与光线中心同轴，从而保证物镜的中心与光线中心同轴， 使得光线不会偏离物镜中心。

然而，目前市场上还没有可以用于高数值孔径显微物镜的倾斜调 整校验装置，导致光学检测时，无法精确判断物镜是否发生倾斜，也 就无法保证成像质量。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是现有技术缺少可以用于高数值孔径显 微物镜的倾斜调整校验装置，导致光学检测时无法精确判断物镜是否 发生倾斜的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种简易型显微镜物镜的 倾斜调整校验装置，用于物镜架的倾斜调整及校验，包括：反射镜、 反射镜支架和连接件，反射镜支架设有反射镜安装孔，反射镜设于反 射镜安装孔内并与反射镜安装孔的轴线垂直；连接件设有外螺纹，其 一端与反射镜支架连接，且另一端通过外螺纹与物镜架上的物镜安装 孔配合连接，使得反射镜安装孔的轴线与物镜安装孔的轴线重合且反 射镜的反射面朝向外界激光源。

根据本发明，反射镜安装孔为盲孔，反射镜的反射面朝向反射镜 安装孔的开口端。

根据本发明，反射镜可拆卸地嵌设于反射镜安装孔。

根据本发明，连接件轴向中空。

根据本发明，连接件与反射镜安装孔的开口端相连接。

根据本发明，反射镜安装孔的侧壁上设有内螺纹，内螺纹与连接 件的外螺纹配合连接。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下优点：

本发明的简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置，通过连接件的 外螺纹与物镜架上的物镜安装孔配合连接，使反射镜安装孔的轴线与 物镜安装孔的轴线重合且反射镜的反射面朝向外界激光源，使得外界 激光源发射的激光光束能够射到反射镜的反射面上，利用激光光束垂 直入射到反射镜的反射面上时，反射光将按原路返回的原理判断物镜 架是否倾斜：若反射光按原路返回，则判断物镜架未倾斜；若反射光 未按原路返回，则判断物镜架存在倾斜角度，应对其进行调整校验， 直至反射光按原路返回。由此实现了对物镜架是否存在倾斜的精确判 断，并可对其进行调整校验，保证物镜架上物镜安装孔相对激光光束 的中心不存在倾斜角度，从而保证物镜中心与激光光束中心之间不存 在倾斜，进而保证较高的成像质量，满足光学检测对高分辨率和高成 像质量与日俱增的需求。

附图说明

图1是本发明实施例简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置的结 构示意图；

图2是图1中示出的简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置沿纵 向的剖视示意图；

图3是图1中示出的简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装 在物镜架上时的示意图；

图4是显微镜的物镜架存在倾斜时的工作状态图；

图5是图1中示出的简易型显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装 在物镜架上且物镜架存在倾斜时的工作状态示意图。

图中：1：反射镜；2：反射镜支架；20：反射镜安装孔；3：连接 件；4：外螺纹；5：内螺纹；6：物镜架；60：物镜安装孔；7：激光 源；8：光阑；9：物镜。

具体实施方式