[发明专利]一种显微镜物镜的倾斜调整校验装置

说明书

技术领域

本发明涉及显微镜技术领域，尤其涉及一种显微镜物镜的倾斜调 整校验装置。

背景技术

显微镜的放大作用主要取决于物镜，物镜是由若干个透镜组合而 成的一个透镜组。物镜作为显微镜最重要的光学部件，直接关系和影 响成像的质量和分辨率等各项光学技术参数，亦是衡量一台显微镜质 量的首要标准。随着成像质量、分辨率要求的提高及各种突破光学衍 射极限的技术的快速发展，各种高数值孔径例如水浸、油浸及更高数 值孔径的固浸物镜应运而生。在光学检测的过程中，若显微镜的物镜 倾斜或者光线中心偏离物镜中心，会导致像差增加，使得聚光能力及 数值孔径难以充分使用，直接降低成像的质量和分辨率等技术参数， 甚至导致某些突破衍射极限的方法失效。因此，检测前有必要对显微 镜中安装物镜的物镜架进行倾斜调整及校验，以使物镜架上的物镜安 装孔的中心与光线中心同轴，从而保证物镜的中心与光线中心同轴， 使得光线不会偏离物镜中心。

然而，目前市场上还没有可以用于高数值孔径显微物镜的倾斜调 整校验装置，导致光学检测时，无法精确判断物镜是否发生倾斜，也 就无法保证成像质量。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是现有技术缺少可以用于高数值孔径显 微物镜的倾斜调整校验装置，导致光学检测时无法精确判断物镜是否 发生倾斜的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种显微镜物镜的倾斜调 整校验装置，用于物镜架的倾斜调整及校验，包括：反射镜和反射镜 支架，反射镜支架设有反射镜安装孔和外螺纹，外螺纹可与物镜架上 的物镜安装孔配合连接，并使得反射镜安装孔的轴线与物镜安装孔的 轴线重合；反射镜设于反射镜安装孔内并与反射镜安装孔的轴线垂直， 且反射镜的反射面朝向外界激光光源。

根据本发明，反射镜的反射面上设有若干个以反射面的中心为中 心的同心圆环刻度线，反射面的中心位于反射镜安装孔的轴线上。

根据本发明，反射镜安装孔贯通反射镜支架。

根据本发明，反射镜可拆卸地嵌设于反射镜安装孔。

根据本发明，反射镜安装孔的孔壁上开设有螺纹通孔，螺纹通孔 内设有螺钉；螺纹通孔的轴线与反射镜安装孔的轴线垂直相交，且螺 钉与反射镜的侧面相抵持。

根据本发明，反射镜安装孔为台阶通孔，台阶通孔包括大径孔和 小径孔，反射镜设于大径孔内，外螺纹设于小径孔的孔壁的外表面。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下优点：

(1)本发明的显微镜物镜的倾斜调整校验装置，可通过反射镜支 架上的外螺纹与物镜架上的物镜安装孔配合连接，并将激光光束射到 反射镜的反射面上，利用激光光束垂直入射到反射镜的反射面上时， 反射光将按原路返回的原理判断物镜架是否倾斜：若反射光按原路返 回，则判断物镜架未倾斜；若反射光未按原路返回，则判断物镜架存 在倾斜角度，应对其进行调整校验，直至反射光按原路返回。由此实 现了对物镜架是否存在倾斜的精确判断，并可对其进行调整校验，保 证物镜架上物镜安装孔相对激光光束中心不存在倾斜角度，从而保证 物镜中心与激光光束中心之间不存在倾斜，进而保证较高的成像质量， 满足光学检测对高分辨率和高成像质量与日俱增的需求。

(2)本发明的显微镜物镜的倾斜调整校验装置在反射镜的反射面 上设置了若干个以反射面的中心为中心的同心圆环刻度线，且所有的 同心圆环刻度线均以反射镜安装孔的轴线为中心，由此使得激光光束 射在反射镜的反射面上时，可以直观地观察并判断其是否射在反射镜 反射面的中心处，由此可判断物镜安装孔的中心否与激光光束的中心 处于同一轴线，即判断物镜安装孔的中心是否与激光光束的中心对准： 若激光光束射在反射镜反射面的中心处，则判断物镜安装孔的中心与 激光光束的中心对准；若激光光束没有射在反射镜反射面的中心处， 则判断物镜安装孔的中心与激光光束的中心未对准，需对物镜架进行 调整，直至激光光束射在反射镜反射面的中心处。由此在实现了对物 镜架的物镜安装孔的中心是否与激光光束的中心对准的准确判断和快 速调节校验。若干个同心圆环刻度线的设置，一方面有利于方便快速 地找准反射镜反射面的中心，从而便于调节；另一方面还有利于对入 射光斑的质量进行分析。