[发明专利]一种气路清洗系统及清洗方法

权利要求书

1.一种气路清洗系统，其特征在于，所述气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路；

各待测气源连接于所述气体混合装置，所述气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，所述出气口与所述气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与所述待测气源以及所述稀释气源连接，第二进气口通过阀门与所述稀释气源连接，第三进气口通过阀门和所述清洗气源连接；

所述第一阀门设置于所述稀释气源以及待测气源之间的气体管路，第二阀门设置于所述待测气源以及气体混合装置第一进气口之间的气体管路，第三阀门设置于所述稀释气源以及气体混合装置第二进气口之间的气体管路，第四阀门设置于所述清洗气源以及气体混合装置第三进气口之间的气体管路。

2.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：还包括多个气体流量控制装置，第一气体流量控制装置设置于所述待测气源以及所述气体混合装置第一进气口之间的气体管路，第二气体流量控制装置设置于所述稀释气源以及所述气体混合装置第二进气口之间的气体管路。

3.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：所述气体检测装置通过可拆卸接头与气泵连接。

4.根据权利要求2所述的气路清洗系统，其特征在于：所述气体流量控制装置为带流量控制功能的质量流量计。

5.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：清洗气源与稀释气源的气源相同。

6.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：所述阀门为多个手动阀门和多个自动阀门的组合。

7.一种如权利要求1～6中任意一项所述的气路清洗系统的气路清洗方法，其特征在于：

步骤一，关闭第四阀门，其余阀门开启，打开稀释气源，稀释气源释放稀释气体，稀释气体通过第一阀门、第二阀门和第三阀门进入气体管路进行清洗；

步骤二，停止稀释气体通入，关闭第一阀门、第二阀门和第三阀门，打开第四阀门，打开清洗气源，清洗气源释放清洗气体，清洗气体通过第四阀门进入气体管路进行清洗。

8.根据权利要求7所述的气路清洗方法，其特征在于：所述步骤二中，打开清洗气源前，

还包括通过可拆卸接头连接气泵的步骤。

9.根据权利要求7所述的气路清洗方法，其特征在于：所述气路清洗步骤之前，还包括气体检测步骤，

关闭第一阀门和第四阀门，其余阀门开启，释放稀释气体和待测气体；待测气体通过第二阀门进入气体混合装置；稀释气源释放稀释气体，稀释气体通过第三阀门进入气体混合装置和待测气体混合形成混合气体，所述混合气体进入气体检测装置检测和传感器反应，产生电信号输出。