[发明专利]基于人字形线圈排布的动线圈磁浮无线微动台矢量圆弧换台方法及装置

权利要求书

1.一种基于人字形线圈排布的动线圈磁浮无线微动台矢量圆弧换台方法，其特征在于该方法包括以下步骤：初始工作状态，测量位第一工件台处于预对准状态，曝光位第二工件台处于曝光状态；第一步，测量位第一工件台预对准完毕后由动线圈驱动运动到测量位换台预定位置A并充电和等待，曝光位第二工件台曝光完毕后由动线圈驱动运动到曝光位换台预定位置B；第二步，第一工件台与第二工件台通过平面电机矢量控制沿圆弧轨迹逆时针运动，在运动过程中，两个工件台的相位不发生变化，运动位置由平面光栅进行测量，当第一工件台运动到曝光位预定位置C、第二工件台运动到测量位预定位置D时，换台结束，第一工件台在曝光位进行硅片光刻曝光，第二工件台在测量位进行硅片上片及硅片预对准操作；第三步，测量位第二工件台预对准完毕后由动线圈驱动运动到测量位换台预定位置A'并充电和等待，曝光位第一工件台曝光完毕后由动线圈驱动运动到曝光位换台预定位置B'；第四步，第二工件台与第一工件台通过平面电机矢量控制沿圆弧轨迹顺时针运动，当第二工件台运动到曝光位预定位置C、第一工件台运动到测量位预定位置D时，换台结束，曝光位第二工件台进入曝光状态，测量位第一工件台进行上下片及预对准操作，此时系统回到初始工作状态，完成了包含两次换台操作的一个工作周期,在测量、曝光和换台过程中采用无线通讯方式完成。

2.一种基于人字形线圈排布的动线圈磁浮无线微动台矢量圆弧换台装置，该装置包括支撑框架（1）、平衡质量块（2）、第一工件台（4a）、第二工件台（4b），所述平衡质量块（2）位于支撑框架（1）上方，其特征在于宏动平面电机定子（3）安装在平衡质量块（2）上的平面上，第一工件台（4a）和第二工件台（4b）配置在宏动平面电机定子（3）上方，所述第一工件台（4a）和第二工件台（4b）运行于测量位（11）和曝光位（12）之间，在第一工件台（4a）和第二工件台（4b）上平面上分别安装测量位平面光栅（5a）和曝光位平面光栅（5b）；第一工件台（4a）和第二工件台（4b）为六自由度磁浮微动台，所述六自由度磁浮微动台由Chuck（401）、吸盘（402）、微动电机（403）、防撞框（404）、宏动平面电机动子（405）、平面光栅读数头（406）、调平调焦传感器（407）、充电模块（412）、无线通讯收发器（413）组成，所述微动电机（403）由微动平面电机动子（408）与重力补偿器动子（409）集成在一起构成，所述吸盘（402）安装在Chuck（401）上，Chuck（401）四个角上安装有四个平面光栅读数头（406）和四个调平调焦传感器（407），Chuck（401）固定在微动电机（403）上，在微动电机（403）四周安装有防撞框（404），所述宏动平面电机动子（405）安装在防撞框（404）下方，宏动平面电机动子（405）由线圈阵列（414）呈人字形排布构成，宏动平面电机定子（3）由磁钢阵列（415）成交错排布构成。