[发明专利]加热装置在审
| 申请号： | 201610021209.5 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106973448A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 解金库;于甄;孔德兴 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B6/10 | 分类号： | H05B6/10;H05B6/36;H05B6/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
1.一种加热装置，用于蒸发有机膜料，其特征在于，所述加热装置包括：
坩埚(10)，所述坩埚(10)用于盛放所述有机膜料；
电磁加热组件(20)，具有感应线圈(21)，所述感应线圈(21)环绕在所述坩埚(10)的轴向外侧，所述电磁加热组件(20)用于对所述坩埚(10)进行加热。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述电磁加热组件(20)包括多个相互独立的所述感应线圈(21)，多个所述感应线圈(21)沿所述坩埚(10)的轴向方向依次设置在所述坩埚(10)的外侧。
3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述电磁加热组件(20)包括：
线圈罩(22)，所述线圈罩(22)包裹所述感应线圈(21)，所述线圈罩(22)设置在所述坩埚(10)的外侧。
4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：
用于调节所述坩埚(10)高度的高度调节组件(30)，所述坩埚(10)设置在所述高度调节组件(30)上。
5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述高度调节组件(30)包括：
第一支撑架(31)；
第二支撑架(32)，可上下活动地设置在所述第一支撑架(31)上，所述坩埚(10)设置在所述第二支撑架(32)上，所述第二支撑架(32)具有在所述第一支撑架(31)上移动的移动状态以及固定在所述第一支撑架(31)上的固定状态。
6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：
架体(40)，所述线圈罩(22)以及所述第一支撑架(31)均设置在所述架体(40)上。
7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述架体(40)上设置有连接端子(41)，所述感应线圈(21)的端部与所述连接端子(41)连接。
8.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：
冷却部，设置在所述架体(40)上，所述冷却部用于对所述电磁加热组件(20)进行冷却。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的加热装置，其特征在于，所述坩埚(10)包括：
锅体(11)，用于盛放所述有机膜料；
盖体(12)，所述盖体(12)可拆卸地设置在所述锅体(11)上，所述盖体(12) 上设置有多个通孔(13)。
10.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，
所述坩埚(10)内放有金属颗粒。
11.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：
掩板(60)，设置在所述坩埚(10)上，所述掩板(60)用于遮盖所述坩埚(10)。
12.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：
测温仪(70)，所述测温仪(70)用于测量所述坩埚(10)内部的温度。
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