[发明专利]一种低pH可控释放的智能缓蚀剂的制备方法在审
申请号: | 201610019344.6 | 申请日: | 2016-01-12 |
公开(公告)号: | CN105603437A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 董超芳;任盼盼;张达威;王宇宁;田玉琬;李晓刚 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | C23F11/173 | 分类号: | C23F11/173 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ph 可控 释放 智能 缓蚀剂 制备 方法 | ||
1.一种低pH可控释放的智能缓蚀剂的制备方法,其特征在于:包括质量分数为40%-60%的单体、质量分数为0.2%-1.0%的交联剂、质量分数为0.3-0.7%的引发剂,其余为缓蚀剂水溶液和去离子水,所述的单体为甲基丙烯酸二甲氨基乙酯,所述的交联剂为亚甲基双丙烯酰胺,所述引发剂为2-羟基-2-甲基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-1-丙酮,所述缓蚀剂为苯骈三氮唑,其制备方法包括以下步骤:
1)pH敏感水凝胶的制备
将所述的单体、交联剂、引发剂加入干燥洁净烧杯中,加入上述去离子水,避光搅拌一定时间,直至溶液均匀透明;
用注射器将溶液注入自制模具中,固定好后置于紫外灯下;
反应结束后,去除模具,取出水凝胶,使用打孔器将水凝胶切成小圆片;
将圆片凝胶放入含有去离子水的培养皿中,浸泡以除去未反应的极少量的原料;
将凝胶放入冰箱冷冻室冷冻后,转移至真空冷冻干燥机中,真空冷冻干燥至恒重,获得pH敏感水凝胶;
2)低pH快速释放的智能缓蚀剂的制备
将所述的pH敏感水凝胶浸泡于缓蚀剂水溶液中,浸泡20-28h后放入冰箱冷冻室,冷冻后转移至冷冻干燥机中,真空冷冻干燥至恒重,即可得到可由pH控制释放的长效智能缓蚀剂。
2.权利要求1中所述pH敏感水凝胶的制备方案,其特征是所述的单体的质量分数为49.6%、交联剂的质量分数为0.33%、引发剂的质量分数为0.5%时最优。
3.权利要求1中所述pH敏感智能缓蚀剂的制备方法,其特征是所述缓蚀剂溶液,最优浓度为饱和浓度。
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