[发明专利]用于单臂多组合设备的调度和最优缓冲空间构造

权利要求书

1.一种通过最优缓冲空间构造调度单臂多组合设备的计算机实现方法，包括：

通过处理器，获得晶圆加工时间、机器人晶圆装载和卸载时间以及机器人移动时间；

通过处理器，基于所述晶圆加工时间、所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器人移动时间，计算用于完成晶圆的最短时间；

通过处理器，基于所述机器人晶圆装载和卸载时间以及所述机器人移动时间，计算机器人周期时间；

通过处理器，基于从用于完成晶圆的所述最短时间和所述机器人周期时间之中选择的最大值，确定基本周期；

通过处理器，根据以下步骤确定组合设备的类型：

如果所述基本周期为用于完成晶圆的所述最短时间的值，则所述组合设备的类型为加工受限的；

否则，所述组合设备的类型为传送受限的；

通过处理器，基于具有所述基本周期的最大值的组合设备的类型，确定所述多组合设备为加工受限的还是传送受限的；

通过处理器，基于所述基本周期的最大值，确定所述机器人周期时间的下限；

通过处理器，基于petri网模型，确定用于调度和缓冲空间构造的算法；以及

通过处理器，基于所述算法，计算机器人等待时间；

通过处理器，基于所述算法和所述机器人周期时间的所述下限，计算晶圆逗留时间；

通过处理器，基于所述晶圆逗留时间和所述机器人等待时间，确定用于缓冲模型的缓冲空间；以及

通过处理器，基于用于缓冲模型的所述缓冲空间以及所述机器人周期时间的所述下限，获得调度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，用于完成晶圆的所述最短时间通过下式计算得出：

ζ_ij表示组合设备i在工序j完成晶圆的最短时间；

α_ij表示组合设备i在工序j的晶圆加工时间；

λ_i表示组合设备i的机器人晶圆加载和卸载时间；

μ_i表示组合设备i的机器人移动时间；

表示组合设备的总数量；以及

表示组合设备i的加工工序的总数量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，机器人周期时间通过下式计算得出：

ψ_i表示组合设备i的机器人周期时间；

λ_i表示组合设备i的机器人晶圆装载和卸载时间；

μ_i表示组合设备i的机器人移动时间；

ψ_i1＝2(n[i]+1)(λ_i+μ_i)表示组合设备i的机器人移动时间；

表示组合设备i的周期中的机器人等待时间；

以及

N_K表示组合设备的总数量。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，基本周期通过下式确定：

π_i＝max{ζ_i0,ζ_i1,…,ζ_i(n[i]),ψ_i1}

π_i表示组合设备i的基本周期；

ζ_i0、ζ_i1、…、ζ_i(n[i])表示组合设备i在不同工序的最短时间；以及

ψ_i1表示组合设备i的机器人移动时间。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述基本周期的最大值∏通过下式确定：

∏＝max{π₁,π₂,…,π_K}

π₁、π₂、…、π_K表示不同的组合设备的不同的基本周期。