[发明专利]用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源在审
| 申请号： | 201610016143.0 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105698151A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘亢亢;徐震;刘洪力;孙剑芳;王育竹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | F22B3/00 | 分类号： | F22B3/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 超高 真空 系统 可控 低温 蒸气 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源，其特征为：包括内盛装有单 质汞、且外表面粘贴温度传感器(7)的汞杯(1)、真空多级TEC(2)、中空热沉(3) 具有进水口及出水口的通水法兰(4)、进水管(5)和出水管(6)；
所述的汞杯(1)的底部和TEC(2)的顶部通过真空胶粘接，TEC(2)的底部 和热沉(3)的顶部用真空胶粘接，热沉(3)底部通过通水法兰(4)固定在所述 的超高真空系统的腔体(9)上，所述的进水管(5)的一端通过通水法兰(4)的 进水口伸入中空热沉(3)中，所述的出水管(6)的一端通过通水法兰(4)的出 水口伸入中空热沉(3)中，所述的温度传感器(7)与所述的超高真空系统的连接 线法兰相连(8)。
2.根据权利要求1所述的用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源，其特征为： 所述的热沉(3)为空心圆柱形，顶端封闭，底部开口且边缘向外突出。
3.根据权利要求1所述的用于超高真空系统的可控低温汞蒸气源，其特征为： 所述的通水法兰(4)的出水管(6)靠近热沉(3)内部顶端，进水管(5)比出水 管(6)的高度低。
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