[发明专利]用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法

权利要求书

1.用于检测至少一种气态分析物的传感器设备（300），其中所述传感器设备（300）具有 下列特征：

由化学电阻材料构成的化学电阻器层（310），所述化学电阻材料的电阻依赖于运行温 度以及依赖于与所述至少一种气态分析物的接触，其中所述化学电阻器层（310）借助于通 过所述化学电阻器层的电流（I）能够被调温到能够定义的运行温度上；

电极对（320、330），所述电极对与所述化学电阻器层（310）导电连接，其中在使用所述 电极对（320、330）的情况下能够将用于将所述化学电阻器层（310）调温到能够定义的运行 温度上的加热功率注入到所述化学电阻器层（310）中并且能够测量所述化学电阻器层 （310）的电阻。

2.根据权利要求1所述的传感器设备（300），其特征在于，所述电极对（320、330）的第一 电极（320）与所述化学电阻器层（310）的第一主表面导电连接和/或所述电极对（320、330） 的第二电极（330）与所述化学电阻器层（310）的第二主表面导电连接。

3.根据前述权利要求之一所述的传感器设备（300），其特征在于，所述电极对（320、 330）的至少一个电极（330）与所述化学电阻器层（310）的主表面导电连接，其中在所述电极 （330）中至少一个空隙区段（550）被成形，在所述空隙区段中所述化学电阻器层（310）的该 主表面显露。

4.根据前述权利要求之一所述的传感器设备（300），其特征在于，所述电极对（320、 330）的一个电极（320）至少部分面积地覆盖所述化学电阻器层（310）的一个主表面，其中该 电极（320）能够被布置或被布置在用于承载所述传感器设备（300）的载体衬底（540）上。

5.用于借助于根据前述权利要求之一所述的传感器设备来检测至少一种气态分析物 的方法（700），其中所述方法（700）具有下列步骤：

在使用所述电极对（320、330）的情况下将所述加热功率注入（720）到所述化学电阻器 层（310）中，以便将所述化学电阻器层（310）调温到能够定义的运行温度上；以及

在使用所述电极对（320、330）的情况下测量（730）所述化学电阻器层（310）的电阻，以 便检测所述至少一种气态分析物。

6.根据权利要求5所述的方法（700），其特征在于，在所述注入的步骤（720）中所述加热 功率根据关于所述化学电阻器层（310）和/或所述传感器设备（300）的环境的温度的温度信 息和/或根据关于所述传感器设备（300）的环境的湿度的湿度信息来注入。

7.根据权利要求5至6之一所述的方法（700），其特征在于，在所述注入的步骤（720）中 所述加热功率根据关于所述气态分析物的至少一种流动特性的流动信息来注入。

8.根据权利要求5至7之一所述的方法（700），其特征在于，在所述注入的步骤（720）中 所述加热功率以关于时间的能够定义的变化过程来注入，其中所述变化过程是恒定的和/ 或是可变的。

9.用于制造用于检测至少一种气态分析物的传感器设备（300）的方法（800），其中所述 方法（800）具有下列步骤：

提供（810）由化学电阻材料构成的化学电阻器层（310），所述化学电阻材料的电阻依赖 于运行温度以及依赖于与所述至少一种气态分析物的接触，其中所述化学电阻器层（310） 能够借助于通过所述化学电阻器层的电流（I）被调温到能够定义的运行温度上；以及

将电极对（320、330）与所述化学电阻器层（310）导电连接（820），其中在使用所述电极 对（320、330）的情况下能够将用于将所述化学电阻器层（310）调温到能够定义的运行温度 上的加热功率注入到所述化学电阻器层（310）中并且能够测量所述化学电阻器层（310）的 电阻。