[发明专利]压电振子、包括该压电振子的驱动器及微动台

权利要求书

1.一种压电振子，其特征在于，所述压电振子为沿高度方向层叠形成的多层压电陶瓷，其中：

所述多层压电陶瓷的相邻压电陶瓷层的极化方向相反，所述多层压电陶瓷的宽度方向的一侧表面上的两侧分别设置有相间隔的第一外电极正极和第二外电极正极，所述多层压电陶瓷的宽度方向的另一侧表面上设置有外电极负极；所述第一外电极正极和第二外电极正极之间的区域是没有刷电极的区域；

所述多层压电陶瓷的高度方向的一侧表面的中部，且位于第一外电极正极和第二外电极正极之间设置有陶瓷触点；其中，所述陶瓷触点位于第一外电极正极和第二外电极正极之间没有刷电极的区域的上方；

当对所述多层压电陶瓷的第一外电极正极施加正向电压，第二外电极正极和外电极负极施加零电压时，所述第一外电极所在区域的压电陶瓷会发生d₃₃形式的变形，从而导致所述陶瓷触点产生倾斜，当对所述多层压电陶瓷的第一外电极正极和第二外电极正极施加相位差90°的正弦信号时，所述陶瓷触点会产生连续的倾斜运动，进而通过所述陶瓷触点与外部的动子之间的摩擦力产生驱动力。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述陶瓷触点为三棱柱氧化铝陶瓷触点。

3.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述第一外电极正极和第二外电极正极均与所述外电极负极形成插指结构。

4.根据权利要求1-3中任一所述的压电振子，其特征在于，所述多层压电陶瓷采用流延及丝网印刷工艺制作。

5.一种压电陶瓷驱动器，其特征在于，包括驱动器外壳，所述驱动器外壳内部设置有振子柔性铰链安装座，所述振子柔性铰链安装座上粘接权利要求1-4中任一所述的压电振子，所述压电振子的陶瓷触点伸出至所述驱动器外壳的外部。

6.根据权利要求5所述的压电陶瓷驱动器，其特征在于，所述振子柔性铰链安装座通过螺栓与所述驱动器外壳连接；

所述振子柔性铰链安装座的侧面与所述驱动器外壳之间设置有弹簧。

7.一种微动台，包括微动台底板，所述微动台底板上设置有压电陶瓷驱动器、导轨定端、导轨动端，其特征在于，所述压电陶瓷驱动器为权利要求5-6中任一所述的压电陶瓷驱动器，所述导轨动端上设置有与所述陶瓷触点相配合的陶瓷条。

8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述导轨定端和导轨动端通过交叉滚子形成滚动导轨副。

9.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述陶瓷条为氧化铝陶瓷条，所述陶瓷条通过环氧树脂胶水与所述导轨动端粘接。

10.根据权利要求7-9中任一所述的微动台，其特征在于，所述驱动器外壳通过螺栓固定在所述微动台底板上。