[发明专利]一种白光同轴干涉相移显微镜系统和显微成像方法

权利要求书

1.一种白光同轴干涉相移显微镜系统，其包括显微镜装置和相位成像装置，其特征在于：

所述相位成像装置包括光源、第一透镜、透射式纯振幅空间光调制器、第二透镜、第三透镜、反射式纯相位空间光调制器、第四透镜以及相机，所述光源发出的光依次经过所述显微镜装置、第一透镜、透射式纯振幅空间光调制器、第二透镜、第三透镜、反射式纯相位空间光调制器以及第四透镜后，形成的图像由所述相机接收；

所述透射式纯振幅空间光调制器加载有一个和所述图像的频谱相匹配的图样用于降低低频信息的光强，以使所述低频信息和高频信息的光强相同；

所述反射式纯相位空间光调制器的入射角度＜10°；

所述第一、第二透镜组成一个四倍焦距系统，所述第二、第三透镜组成一个四倍焦距系统，所述第三、第四透镜组成一个四倍焦距系统；

所述反射式纯相位空间光调制器上加载有相移量不同的多个图样以调制所述低频信息。

2.如权利要求1所述的白光同轴干涉相移显微镜系统，其特征在于：所述反射式纯相位空间光调制器上依次加载的相移量为

3.如权利要求1所述的白光同轴干涉相移显微镜系统，其特征在于：所述显微镜装置的显微镜成像面与所述第一透镜的前焦面重合，所述透射式纯振幅空间光调制器位于所述第一透镜的后焦面，所述反射式纯相位空间光调制器位于所述第三透镜的后焦面；所述相机位于所述第四透镜的后焦面。

4.如权利要求1所述的白光同轴干涉相移显微镜系统，其特征在于：所述光源为卤素灯。

5.如权利要求1所述的白光同轴干涉相移显微镜系统，其特征在于：所述显微镜装置沿光路行进方向依次包括集光镜、孔径光阑、聚光镜、显微物镜、反射镜和镜筒透镜；所述光源发出的光线首先进入所述集光镜；待测样品位于所述聚光镜和所述显微物镜之间。

6.如权利要求1所述的白光同轴干涉相移显微镜系统，其特征在于：所述显微物镜为40倍物镜时，所述孔径光阑的数值孔径为0.09。

7.基于权利要求1～6中任一所述的显微镜系统的显微成像方法，包括以下步骤：

所述显微镜装置形成的物像由所述第一透镜进行傅立叶变换后，低频信息和高频信息在所述透射式纯振幅空间光调制器上分开；

在所述透射式纯振幅空间光调制器上加载一个和图像频谱相匹配的图样，以降低所述低频信息的光强，使所述低频信息和所述高频信息的光强相同；

在所述反射式纯相位空间光调制器上加载相移量不同的多个图样以调制干涉光路。

8.如权利要求7所述的显微成像方法，其特征在于：利用四步相移法调制所述干涉光路。