[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种物理量传感器、具备该物理量传感器的电子设备以及移动体，其中所述物理量传感器能够减少因振动元件的振动而造成加速度检测元件的检测精度的降低。物理量传感器(1)具有：振动元件，其进行驱动振动；加速度检测元件，其对加速度进行检测；半导体元件(3)，其与振动元件(6)以及加速度检测芯片(4)中的至少一方电连接；封装件(2)，其具有对振动元件(6)、加速度检测芯片(4)、半导体元件(3)进行收纳的收纳空间(S1)，半导体元件(3)被固定在封装件(2)内，加速度检测芯片4经由半导体元件(3)而被固定在封装件(2)内，在俯视观察封装件(2)时，加速度检测芯片(4)的至少一部分与振动元件(6)重叠。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，作为具备多个物理量检测元件的传感器而开发有一种例如具备角速度检测元件以及加速度检测元件的物理量传感器。这种物理量传感器能够被应用于例如，数码照相机照相机(DSC)的手抖补正功能、汽车的导航系统以及游戏设备的动作输入装置等中。

此外，在这种物理量传感器中，角速度检测元件以及加速度检测元件被收纳在一个封装件内。但是，在这种物理量传感器中，一般而言，由于将角速度检测元件以及加速度检测元件进行直接固定在封装件上并对其进行支承，因此角速度检测元件的振动较容易经由封装件而传递至被传递至加速度检测元件。因此，存在即使不向加速度检测元件施加加速度，也会有因所述振动而造成加速度被检测出的问题。

为了解决这种问题，例如，在专利文献1中公开有一种物理量传感器，其结构为，经由防振端子而将角速度检测元件固定在封装件内，并且，将加速度检测元件固定在封装件内。但是，在专利文献1所公开的这种结构中，为了对角速度检测元件进行支承而必须使防振端子具有充分的强度。因此，无法通过防振端子而使角速度检测元件的振动充分地衰减。

本发明的目的在于，提供一种能够减少因振动元件的振动而造成加速度检测元件的检测精度的降低的物理量传感器、具备所述物理量传感器的电子设备以及移动体。

专利文献1：日本特开2012-63243号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例的物理量传感器的特征在于，具有：振动元件，其进行驱动振动；加速度检测元件，其对加速度进行检测；半导体元件，其与所述振动元件以及所述加速度检测元件中的至少一方电连接；封装件，其具有对所述振动元件、所述加速度检测元件以及所述半导体元件进行收纳的收纳空间，所述半导体元件被固定在所述封装件内，所述加速度检测元件经由所述半导体元件而被固定在所述封装件内，在俯视观察所述封装件时，所述加速度检测元件的至少一部分与所述振动元件重叠。

由此，由于加速度检测元件经由半导体元件而被固定在封装件内，因此能够使传递至加速度检测元件的振动元件的振动衰减。其结果为，能够减少因所述振动而造成的加速度检测元件的检测精度的降低。

此外，即使振动元件的振动被传递至加速度检测元件，该振动也较容易均匀地传递至加速度检测元件内。因此，能够减少因所述振动而造成加速度检测元件的检测精度降低的情况。

应用例2

本应用例的物理量传感器的特征在于，所述振动元件为对角速度进行检测的角速度检测元件。

由此，能够对施加于物理量传感器上的角速度进行检测。

应用例3

本应用例的物理量传感器的特征在于，所述半导体元件、所述加速度检测元件以及所述振动元件被依次重叠配置。

由此，能够抑制物理量传感器的宽度方向(面内方向)的尺寸。