[发明专利]止逆阀及防止气体回冲的系统

权利要求书

1.一种止逆阀，包括：

阀体，具有多个开口；

多个旋启式栅门，设置于该阀体上，其中在该些旋启式栅门关闭时，该些旋启式栅门封住该些开口；

多个挡块，设置于该阀体上，其中在该些旋启式栅门开启时，该些挡块挡住该些旋启式栅门，以限制该些旋启式栅门的一开启角度，以及

多个顶针结构，其中各该顶针结构包括：

弹簧结构，包括：壳体以及弹簧，该弹簧位于该壳体中，该弹簧结构设置于该阀体上；以及

顶针，该顶针连接于该弹簧结构，其中在该些旋启式栅门关闭时，该些顶针与该些旋启式栅门相接触。

2.如权利要求1所述的止逆阀，其中各该旋启式栅门包括：

轴，设置于该阀体上：以及

栅门，连接于该轴。

3.如权利要求1所述的止逆阀，其中该开启角度为30度至45度。

4.如权利要求1所述的止逆阀，还包括多个密封件，设置于该阀体上并环绕该些开口，且位于该阀体与该些旋启式栅门之间。

5.如权利要求4所述的止逆阀，其中该些密封件包括O型环。

6.一种防止气体回冲的系统，包括：

反应室；

真空系统；

管路系统，将该反应室与该真空系统进行连通；以及

如权利要求1至5中任一所述的止逆阀，设置于该管路系统中。

7.如权利要求6所述的防止气体回冲的系统，其中该止逆阀中的该些旋启式栅门位于该阀体邻近于该真空系统的一侧。

8.如权利要求6所述的防止气体回冲的系统，其中该管路系统至少在设置有该止逆阀的部分垂直于地面。